סילאַן (SiH4)

קורץ באַשרייַבונג:

Silane SiH4 איז אַ בלאַס, טאַקסיק און זייער אַקטיוו קאַמפּרעסט גאַז ביי נאָרמאַל טעמפּעראַטור און דרוק. סילאַנע איז וויידלי געניצט אין די עפּיטאַקסיאַל וווּקס פון סיליציום, רוי מאַטעריאַלס פֿאַר פּאָליסיליציום, סיליציום אַקסייד, סיליציום ניטרידע, אאז"ו ו, זונ - סעלז, אָפּטיש פייבערז, בונט גלאז מאַנופאַקטורינג און כעמישער פארע דעפּאַזישאַן.

שיקן בליצפּאָסט צו אונדז אָפּלאָדירן צו פּדף

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

טעכניש פּאַראַמעטערס

קאָמפּאָנענט	99.9999%	אַפּאַראַט
זויערשטאָף (אַר)	≤0.1	ppmV
ניטראָגען	≤0.1	ppmV
הידראָגען	≤20	ppmV
העליום	≤10	ppmV
CO+CO2	≤0.1	ppmV
THC	≤0.1	ppmV
טשלאָראָסילאַנעס	≤0.1	ppmV
דיסילאָקסאַן	≤0.1	ppmV
דיסילאַנע	≤0.1	ppmV
מויסטשער (H2O)	≤0.1	ppmV

סילאַן איז אַ קאַמפּאַונד פון סיליציום און הידראָגען. עס איז אַ גענעראַל טערמין פֿאַר אַ סעריע פון קאַמפּאַונדז, אַרייַנגערעכנט מאָנאָסילאַנע (SiH4), דיסילאַנע (Si2H6) און עטלעכע העכער-מדרגה סיליציום-הידראָגען קאַמפּאַונדז. צווישן זיי, מאָנאָסילאַנע איז די מערסט פּראָסט, מאל ריפערד צו ווי סילאַנע פֿאַר קורץ. סילאַנע איז אַ בלאַס גאַז מיט אַ עקלדיק שמעקן פון קנאָבל. סאַליאַבאַל אין וואַסער, כּמעט ינסאַליאַבאַל אין עטאַנאָל, יטער, בענזין, טשלאָראָפאָרם, סיליציום טשלאָראָפאָרם און סיליציום טעטראַטשלאָרידע. די כעמישער פּראָפּערטיעס פון סילאַנעס זענען פיל מער אַקטיוו ווי אַלקאַנעס און זענען לייכט אַקסאַדייזד. ספּאַנטייניאַס קאַמבאַסטשאַן קענען פּאַסירן ווען אין קאָנטאַקט מיט לופט. עס טוט נישט רעאַגירן מיט ניטראָגען אונטער 25 ° C, און טוט נישט רעאַגירן מיט כיידראָוקאַרבאַן קאַמפּאַונדז אין צימער טעמפּעראַטור. פייַער און יקספּלאָוזשאַן פון סילאַן זענען דער רעזולטאַט פון אָפּרוף מיט זויערשטאָף. סילאַנע איז גאָר שפּירעוודיק צו זויערשטאָף און לופט. סילאַנע מיט אַ זיכער קאַנסאַנטריישאַן וועט אויך רעאַגירן יקספּלאָוסיוו מיט זויערשטאָף אין אַ טעמפּעראַטור פון -180 °C. סילאַנע איז געווארן די מערסט וויכטיק ספּעציעל גאַז געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער מיקראָעלעקטראָניק פּראַסעסאַז, און איז געניצט אין דער צוגרייטונג פון פאַרשידן מיקראָעלעקטראָניק פילמס, אַרייַנגערעכנט איין קריסטאַל פילמס, מיקראָקריסטאַללינע, פּאָליקריסטאַללינע, סיליציום אַקסייד, סיליציום ניטרידע און מעטאַל סיליסיידז. די מיקראָעלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז פון סילאַן זענען נאָך דעוועלאָפּינג אין טיף: נידעריק-טעמפּעראַטור עפּיטאַקסי, סעלעקטיוו עפּיטאַקסי און העטעראָפּיטאַקסיאַל עפּיטאַקסי. ניט בלויז פֿאַר סיליציום דעוויסעס און סיליציום ינאַגרייטיד סערקאַץ, אָבער אויך פֿאַר קאַמפּאַונד סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס (גאַליום אַרסענידע, סיליציום קאַרבידע, אאז"ו ו). עס אויך האט אַפּלאַקיישאַנז אין דער צוגרייטונג פון סופּערלאַטאַס קוואַנטום געזונט מאַטעריאַלס. עס קענען זיין געזאָגט אַז סילאַנע איז געניצט אין כּמעט אַלע אַוואַנסירטע ינאַגרייטיד קרייַז פּראָדוקציע שורות אין מאָדערן צייט. די אַפּלאַקיישאַן פון סילאַנע ווי אַ סיליציום-מיט פילם און קאָוטינג האט יקספּאַנדיד פון די טראדיציאנעלן מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע צו פאַרשידן פעלדער אַזאַ ווי שטאָל, מאַשינערי, קעמיקאַלז און אָפּטיקס. אן אנדער פּאָטענציעל אַפּלאַקיישאַן פון סילאַנע איז די פּראָדוצירן פון הויך-פאָרשטעלונג סעראַמיק מאָטאָר פּאַרץ, ספּעציעל די נוצן פון סילאַנע צו פּראָדוצירן סיליסידע (Si3N4, SiC, עטק.) מיקראָפּאָודער טעכנאָלאָגיע האט געצויגן מער און מער ופמערקזאַמקייט.

אַפּפּליקאַטיאָן:

① עלעקטראָניש:

סילאַנע איז געווענדט צו פּאָליקריסטאַללינע סיליציום לייַערס אויף סיליציום ווייפערז ווען מאַנופאַקטורינג סעמיקאַנדאַקטערז און סילאַנץ.

②סאָלאַר:

סילאַנע איז געניצט אין דער פּראָדוקציע פון זונ - פאָטאָוואָלטאַיק מאָדולע.

③ ינדאַסטרי:

עס איז געניצט אין ענערגיע-שפּאָרן גרין גלאז און איז געווענדט צו דין פילם פּראָצעס פֿאַר פארע דעפּאַזישאַן.

נאָרמאַל פּעקל:

פּראָדוקט	סילאַנע סיה 4 פליסיק
פּעקל גרייס	47 לטר צילינדער	י-440 ל
פילונג נעץ וואָג / סיל	10 קגס	125 קג
קטי לאָודיד אין 20' קאַנטיינער	250 סילס	8 סילס
גאַנץ נעץ וואָג	2.5 טאָנס	1 טאָן
צילינדער טאַרע וואָג	52 קג	680 קג
וואַלוו	CGA632/DISS632