סילאַן (SiH4)
טעכנישע פּאַראַמעטערס
| קאָמפּאָנענט | 99.9999% | איינהייט |
| זויערשטאָף (Ar) | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| ניטראָגען | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| וואַסערשטאָף | ≤20 | פּיפּיעםV |
| העליום | ≤10 | פּיפּיעםV |
| CO+CO2 | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| טי-סי | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| כלאָראָסילאַנעס | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| דיסילאָקסאַן | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| דיסילאַן | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
| נעץ (H2O) | ≤0.1 | פּיפּיעםV |
סילאַן איז אַ פֿאַרבינדונג פֿון סיליקאָן און וואַסערשטאָף. דאָס איז אַן אַלגעמיינער טערמין פֿאַר אַ סעריע פֿאַרבינדונגען, אַרייַנגערעכנט מאָנאָסילאַן (SiH4), דיסילאַן (Si2H6) און עטלעכע העכער-לעוועל סיליקאָן-וואַסערשטאָף פֿאַרבינדונגען. צווישן זיי, איז מאָנאָסילאַן די מערסט פֿאַרשפּרייטע, מאַנטשמאָל באַצייכנט ווי סילאַן אין קורצן. סילאַן איז אַ פֿאַרבלאָסענער גאַז מיט אַן עקלדיקן שמעק פֿון קנאָבל. אויפֿלעזלעך אין וואַסער, כּמעט נישט אויפֿלעזלעך אין עטאַנאָל, עטער, בענזין, כלאָראָפֿאָרם, סיליקאָן כלאָראָפֿאָרם און סיליקאָן טעטראַכלאָריד. די כעמישע אייגנשאַפֿטן פֿון סילאַנען זענען פֿיל מער אַקטיוו ווי אַלקאַנען און ווערן לייכט אָקסידירט. ספּאָנטאַנע פֿאַרברענונג קען פֿאָרקומען ווען אין קאָנטאַקט מיט לופֿט. עס רעאַגירט נישט מיט שטיקשטאָף אונטער 25°C, און רעאַגירט נישט מיט כיידראָקאַרבאָן פֿאַרבינדונגען ביי צימער טעמפּעראַטור. פֿײַער און עקספּלאָזיע פֿון סילאַן זענען די רעזולטאַטן פֿון רעאַקציע מיט זויערשטאָף. סילאַן איז גאָר סענסיטיוו צו זויערשטאָף און לופֿט. סילאַן מיט אַ געוויסער קאָנצענטראַציע וועט אויך רעאַגירן עקספּלאָזיוו מיט זויערשטאָף ביי אַ טעמפּעראַטור פֿון -180°C. סילאַן איז געוואָרן דער וויכטיקסטער ספּעציעלער גאַז וואָס ווערט גענוצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר מיקראָעלעקטראָניק פּראָצעסן, און ווערט גענוצט אין דער צוגרייטונג פון פֿאַרשידענע מיקראָעלעקטראָניק פילמען, אַרייַנגערעכנט איין-קריסטאַל פילמען, מיקראָקריסטאַלינע, פּאָליקריסטאַלינע, סיליקאָן אָקסייד, סיליקאָן ניטרידע, און מעטאַל סיליסיידן. די מיקראָעלעקטראָניק אַפּליקאַציעס פון סילאַן אַנטוויקלען זיך נאָך אין טיפקייט: נידעריק-טעמפּעראַטור עפּיטאַקסי, סעלעקטיוו עפּיטאַקסי, און העטעראָעפּיטאַקסיאַל עפּיטאַקסי. ניט נאָר פֿאַר סיליקאָן דעוויסעס און סיליקאָן אינטעגרירטע קרייזן, נאָר אויך פֿאַר קאַמפּאַונד האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס (גאַליום אַרסעניד, סיליקאָן קאַרבייד, אאז"ו ו). עס האט אויך אַפּליקאַציעס אין דער צוגרייטונג פון סופּערלאַטיס קוואַנטום ברונעם מאַטעריאַלן. מען קען זאָגן אַז סילאַן ווערט גענוצט אין כּמעט אַלע אַוואַנסירטע אינטעגרירטע קרייז פּראָדוקציע ליניעס אין מאָדערנע צייטן. די אַפּליקאַציע פון סילאַן ווי אַ סיליקאָן-האַלטנדיק פילם און קאָוטינג האט זיך אויסגעברייטערט פון דער טראַדיציאָנעלער מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע צו פֿאַרשידענע פֿעלדער ווי שטאָל, מאַשינערי, כעמיקאַלן און אָפּטיק. נאָך אַ פּאָטענציעל אַפּליקאַציע פון סילאַן איז די פּראָדוקציע פון הויך-פאָרשטעלונג קעראַמיק מאָטאָר טיילן, ספּעציעל די נוצן פון סילאַן צו פּראָדוצירן סיליסייד (Si3N4, SiC, אאז"ו ו) מיקראָפּודער טעכנאָלאָגיע האט געצויגן מער און מער ופֿמערקזאַמקייט.
אַפּליקאַציע:
①עלעקטראָניש:
סילאַן ווערט געווענדט צו פּאָליקריסטאַלין סיליקאָן שיכטן אויף סיליקאָן וועיפערס ווען מען פאַבריצירט האַלב-קאָנדוקטאָרן און סילינגז.
②זונ-ענערגיע:
סילאַנע ווערט גענוצט אין דער פּראָדוקציע פון זונ - פאָטאָוואָלטאַיק מאָדולן.
③אינדוסטריעל:
עס ווערט גענוצט אין ענערגיע-שפּאָרנדיק גרין גלאָז און געווענדט צו דעם פארע דעפּאַזישאַן דין פילם פּראָצעס.
נאָרמאַל פּעקל:
| פּראָדוקט | סילאַנע SiH4 פליסיק | |
| פּעקל גרייס | 47 ליטער צילינדער | Y-440L |
| פילונג נעץ וואָג / צילינדער | 10 קילאָגראַם | 125 קילאָגראַם |
| קוואַנטיטעט לאָודיד אין 20' קאַנטיינער | 250 צילינדער | 8 צילינדער |
| גאַנץ נעץ וואָג | 2.5 טאָן | 1 טאָן |
| צילינדער טאַרע וואָג | 52 קילאָגראַם | 680 קילאָגראַם |
| ווענטיל | CGA632/DISS632 | |
מייַלע:
①מער ווי צען יאָר אויפן מאַרק;
②ISO סערטיפיקאַט פאַבריקאַנט;
③ שנעלע ליפערונג;
④סטאַביל רוי מאַטעריאַל מקור;
⑤אָנליין אַנאַליז סיסטעם פֿאַר קוואַליטעט קאָנטראָל אין יעדן שריט;
⑥ הויך פאָדערונג און פּינטלעך פּראָצעס פֿאַר האַנדלינג צילינדער איידער פילונג;
⑦ ריינקייט: הויך ריינקייט עלעקטראָניש גראַד;
⑧ באַניץ: זונ - צעל מאַטעריאַלן; מאכן הויך ריינקייט פּאָליסיליקאָן, סיליקאָן אָקסייד און אָפּטיש פיברע; קאָלירט גלאז פּראָדוקציע.
-
טעלעפאָן
-
אימעיל
-
וואַטסאַפּ
-
שפּיץ