קאַרבאָן טעטראַפלאָרידע (CF4)

קורץ באַשרייַבונג:

טשאַד טעטראַפלאָרידע, אויך באקאנט ווי טעטראַפלואָראָמעטהאַנע, איז אַ בלאַס גאַז ביי נאָרמאַל טעמפּעראַטור און דרוק, ינסאַליאַבאַל אין וואַסער.CF4 גאַז איז דערווייַל די מערסט וויידלי געניצט פּלאַזמע עטשינג גאַז אין די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע.עס איז אויך געניצט ווי אַ לאַזער גאַז, קריאָגעניק ריפרידזשעראַנט, סאַלוואַנט, שמירעכץ, ינסאַלייטינג מאַטעריאַל און קולאַנט פֿאַר ינפרערעד דיטעקטער טובז.

שיקן בליצפּאָסט צו אונדז אָפּלאָדירן צו פּדף

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

טעכניש פּאַראַמעטערס

ספּעציפיקאַציע	99.999%
זויערשטאָף + אַרגאָן	≤1פּפּם
ניטראָגען	≤4 פּיפּיעם
מויסטשער (H2O)	≤3 פּיפּיעם
HF	≤0.1 פּיפּיעם
CO	≤0.1 פּיפּיעם
CO2	≤1 פּיפּיעם
SF6	≤1 פּיפּיעם
Halocarbynes	≤1 פּיפּיעם
גאַנץ ימפּיוראַטיז	≤10 פּיפּיעם

קאַרבאָן טעטראַפלאָרידע איז אַ האַלאָגענאַטעד כיידראָוקאַרבאַן מיט די כעמישער פאָרמולע CF4.עס קענען זיין גערעכנט ווי אַ האַלאָגענאַטעד כיידראָוקאַרבאַן, האַלאָגענאַטעד מעטיין, פּערפלואָראָקאַרבאָן אָדער ווי אַ ינאָרגאַניק קאַמפּאַונד.קאַרבאָן טעטראַפלאָרידע איז אַ בלאַס און אָודערלאַס גאַז, ינסאַליאַבאַל אין וואַסער, סאַליאַבאַל אין בענזין און טשלאָראָפאָרם.סטאַביל אונטער נאָרמאַל טעמפּעראַטור און דרוק, ויסמיידן שטאַרק אַקסאַדאַנץ, ברענעוודיק אָדער ברענעוודיק מאַטעריאַלס.ניט-ברענעוודיק גאַז, די ינערלעך דרוק פון דעם קאַנטיינער וועט פאַרגרעסערן ווען יקספּאָוזד צו הויך היץ, און עס איז אַ געפאַר פון קראַקינג און יקספּלאָוזשאַן.עס איז כעמיש סטאַביל און ניט-ברענעוודיק.בלויז פליסיק אַמאָוניאַ-סאָדיום מעטאַל רייידזשאַנט קענען אַרבעטן אין צימער טעמפּעראַטור.טשאַד טעטראַפלאָרידע איז אַ גאַז וואָס ז די אָראַנזשעריי ווירקונג.עס איז זייער סטאַביל, קענען בלייַבן אין דער אַטמאָספער פֿאַר אַ לאַנג צייַט, און איז אַ זייער שטאַרק אָראַנזשעריי גאַז.טשאַד טעטראַפלאָרידע איז געניצט אין די פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס פון פאַרשידן ינאַגרייטיד סערקאַץ.עס איז אויך געניצט ווי אַ לאַזער גאַז, און איז געניצט אין נידעריק-טעמפּעראַטור ריפרידזשעראַנץ, סאָלוואַנץ, לובריקאַנץ, ינסאַלייטינג מאַטעריאַלס און קולאַנץ פֿאַר ינפרערעד דעטעקטאָרס.עס איז די מערסט געוויינט פּלאַזמע עטשינג גאַז אין די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע.עס איז אַ געמיש פון טעטראַפלואָראָמעטהאַנע הויך-ריינקייַט גאַז און טעטראַפלואָראָמעטהאַנע הויך-ריינקייַט גאַז און הויך-ריינקייַט זויערשטאָף.עס קענען זיין וויידלי געניצט אין סיליציום, סיליציום דייאַקסייד, סיליציום ניטרידע און פאָספאָסיליקאַט גלאז.די עטשינג פון דין פילם מאַטעריאַלס אַזאַ ווי טאַנגסטאַן און טאַנגסטאַן איז אויך וויידלי געניצט אין די ייבערפלאַך רייניקונג פון עלעקטראָניש דעוויסעס, זונ - צעל פּראָדוקציע, לאַזער טעכנאָלאָגיע, נידעריק-טעמפּעראַטור ריפרידזשעריישאַן, רינען דורכקוק און וואַשפּולווער אין געדרוקט קרייַז פּראָדוקציע.געניצט ווי אַ נידעריק-טעמפּעראַטור ריפרידזשעראַנט און פּלאַזמע טרוקן עטשינג טעכנאָלאָגיע פֿאַר ינאַגרייטיד סערקאַץ.פּריקאָשאַנז פֿאַר סטאָרידזש: סטאָר אין אַ קיל, ווענאַלייטיד ניט-ברענעוודיק גאַז ווערכאַוס.האַלטן אַוועק פון פייַער און היץ קוואלן.די סטאָרידזש טעמפּעראַטור זאָל נישט יקסיד 30 °C.עס זאָל זיין סטאָרד סעפּעראַטלי פון לייכט (ברענעוודיק) קאַמבאַסטאַבאַלז און אַקסאַדאַנץ, און ויסמיידן געמישט סטאָרידזש.די סטאָרידזש געגנט זאָל זיין יקוויפּט מיט עקוויפּמענט פֿאַר ליקאַדזש נויטפאַל באַהאַנדלונג.

אַפּפּליקאַטיאָן:

① ריפרידזשעראַנט:

טעטראַפלואָראָמעטהאַנע איז מאל געניצט ווי אַ נידעריק טעמפּעראַטור ריפרידזשעראַנט.

② עטשינג:

עס איז געניצט אין עלעקטראָניק מיקראָפאַבריקיישאַן אַליין אָדער אין קאָמבינאַציע מיט זויערשטאָף ווי אַ פּלאַזמע עטשאַנט פֿאַר סיליציום, סיליציום דייאַקסייד און סיליציום ניטריד.

נאָרמאַל פּעקל:

פּראָדוקט	קאַרבאָן טעטראַפלאָרידעCF4
פּעקל גרייס	40 לטר צילינדער	50 לטר צילינדער
פילונג נעץ וואָג / סיל	30 קג	38 קג
קטי לאָודיד אין 20' קאַנטיינער	250 סילס	250 סילס
גאַנץ נעץ וואָג	7.5 טאָנס	9.5 טאָנס
צילינדער טאַרע וואָג	50 קג	55 קג
וואַלוו	CGA 580