וואָס זענען די אָפט גענוצטע עטשינג גאַזן אין טרוקן עטשינג?

טרוקענע עטשינג טעכנאָלאָגיע איז איינער פון די שליסל פּראָצעסן. טרוקענער עטשינג גאַז איז אַ שליסל מאַטעריאַל אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע און אַ וויכטיק גאַז מקור פֿאַר פּלאַזמע עטשינג. זיין פאָרשטעלונג אַפעקטירט גלייך די קוואַליטעט און פאָרשטעלונג פון די לעצט פּראָדוקט. דער אַרטיקל טיילט דער הויפּט וואָס זענען די אָפט געניצטע עטשינג גאַזן אין דעם טרוקן עטשינג פּראָצעס.

פלואָר-באַזירטע גאַזן: אַזאַ וויקאַרבאָן טעטראַפלאָריד (CF4), העקסאַפלואָראָעטאַן (C2F6), טריפלאָראָמעטאַן (CHF3) און פּערפלאָראָפּראָפּאַן (C3F8). די גאַזן קענען עפעקטיוו דזשענערירן וואַלאַטאַל פלאָרידן ווען מען עטשעט סיליקאָן און סיליקאָן קאַמפּאַונדז, און דערמיט דערגרייכן מאַטעריאַל באַזייַטיקונג.

כלאָר-באַזירטע גאַזן: ווי כלאָר (Cl2),באָר טריכלאָריד (BCl3)און סיליקאָן טעטראַטשלאָריד (SiCl4). קלאָר-באַזירטע גאַזן קענען צושטעלן קלאָריד יאָנען בעת ​​דעם עטשינג פּראָצעס, וואָס העלפֿט פֿאַרבעסערן די עטשינג קורס און סעלעקטיוויטי.

בראָם-באַזירטע גאַזן: ווי בראָם (Br2) און בראָם יאָדיד (IBr). בראָם-באַזירטע גאַזן קענען צושטעלן בעסערע עטשינג פאָרשטעלונג אין געוויסע עטשינג פּראָצעסן, ספּעציעל ווען מען עטשעט שווערע מאַטעריאַלן ווי סיליקאָן קאַרבייד.

שטיקשטאָף-באַזירטע און זויערשטאָף-באַזירטע גאַזן: ווי שטיקשטאָף טריפלאָריד (NF3) און זויערשטאָף (O2). די גאַזן ווערן געוויינטלעך געניצט צו סטרויערן די רעאַקציע באדינגונגען אין דעם עטשינג פּראָצעס צו פֿאַרבעסערן די סעלעקטיוויטי און ריכטונג פון דעם עטשינג.

די גאזן דערגרייכן פּינקטלעכע עטשינג פון דער מאַטעריאַל ייבערפלאַך דורך אַ קאָמבינאַציע פון ​​פיזישע שפּאַטערינג און כעמישע רעאַקציעס בעת פּלאַזמע עטשינג. די ברירה פון עטשינג גאַז דעפּענדס אויף דעם טיפּ מאַטעריאַל וואָס מען דאַרף עטשינג, די סעלעקטיוויטי רעקווייערמענץ פון די עטשינג, און די געוואונטשענע עטשינג קורס.