וואָס זענען די קאַמאַנלי געוויינט עטשינג גאַסאַז אין טרוקן עטשינג?

טרוקן עטשינג טעכנאָלאָגיע איז איינער פון די הויפּט פּראַסעסאַז. טרוקן עטשינג גאַז איז אַ שליסל מאַטעריאַל אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג און אַ וויכטיק גאַז מקור פֿאַר פּלאַזמאַ עטטשינג. די פאָרשטעלונג אַפעקץ גלייַך די קוואַליטעט און פאָרשטעלונג פון די לעצט פּראָדוקט. דער אַרטיקל דער הויפּט שאַרעס וואָס זענען די קאַמאַנלי געוויינט עטשינג גאַסאַז אין די טרוקן עטשינג פּראָצעס.

פלאָריין-באזירט גאַסאַז: אַזאַ וויטשאַד טעטראַפלואָרידע (קפ 4), העקסמאָגאָעטהאַנע (C2F6), טריפלואָראָמעטהאַנע (טשפ 3) און פּערפלאָפּראָפּאַנע (C3F8). די גאַסאַז קענען יפעקטיוולי דזשענערייט וואַלאַטאַל פלואָרידס ווען עטשינג סיליציום און סיליציום קאַמפּאַונדז, דערמיט דערגרייכן מאַטעריאַל באַזייַטיקונג.

קלאָרין-באזירט גאַסאַז: אַזאַ ווי קלאָרין (קל 2),באָראַן טריטשלאָרידע (BCL3)און סיליציום טעטראַטשלאָרידע (SISL4). קלאָרין-באזירט גאַסאַז קענען צושטעלן קלאָרייד ייאַנז בעשאַס די עטשינג פּראָצעס, וואָס העלפּס צו פֿאַרבעסערן די עטשינג קורס און סעלעקטיוו.

בראָומאַן-באזירט גאַסאַז: אַזאַ ווי בראָמ - לאַם (בראַ) און בראָומין ייאַדייד (IBR). בראָמעם-באזירט גאַסאַז קענען צושטעלן בעסער עטשינג פאָרשטעלונג אין זיכער עטשינג פּראַסעסאַז, ספּעציעל ווען עטשינג שווער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליציום קאַרבידע.

ניטראָגען-באזירט און זויערשטאָף-באזירט גאַסאַז: אַזאַ ווי ניטראָגען טריפלואָרידע (נפ 3) און זויערשטאָף (אָ 2). די גאַסאַז זענען יוזשאַוואַלי געניצט צו סטרויערן די אָפּרוף טנאָים אין די עטשינג פּראָצעס צו פֿאַרבעסערן די סעלעקטיוויטי און ציכטיקקייַט פון די סעלעקטיוויטי פון די עטשינג.

די גאַסאַז דערגרייכן גענוי עטשינג פון די מאַטעריאַל ייבערפלאַך פון אַ קאָמבינאַציע פון ​​גשמיות ספּאַטערינג און כעמיש ריאַקשאַנז בעשאַס פּלאַזמאַ עטטש. די ברירה פון עטשינג גאַז דעפּענדס אויף דעם טיפּ פון מאַטעריאַל צו זיין עטשט, די סעלעקטיווער באדערפענישן פון די עטשינג און דער געוואלט עטשינג טעמפּאָ.