עלעקטראָנישספּעציעלע גאַזןזענען א וויכטיגע צווייג פון ספעציעלע גאזן. זיי דורכדרינגען כמעט יעדן לינק פון האלב-קאנדוקטאר פראדוקציע און זענען אומפארמיידלעכע רוי מאטעריאלן פאר דער פראדוקציע פון ​​עלעקטראנישע אינדוסטריעס ווי למשל גאר גרויסע אינטעגרירטע קרייזן, פלאך-פאנעל דיספלעי דעווייסעס, און זונ-צעלן.

אין האַלב-קאָנדוקטאָר טעכנאָלאָגיע ווערן פלאָרין-האַלטיקע גאַזן ברייט גענוצט. איצט, אין דעם גלאָבאַלן עלעקטראָנישן גאַז מאַרק, מאַכן פלאָרין-האַלטיקע עלעקטראָנישע גאַזן אויס אַרום 30% פֿון דער גאַנצער סומע. פלאָרין-האַלטיקע עלעקטראָנישע גאַזן זענען אַ וויכטיקער קאָמפּאָנענט פֿון ספּעציעלע עלעקטראָנישע גאַזן אין דעם פֿעלד פֿון עלעקטראָנישע אינפֿאָרמאַציע מאַטעריאַלן. זיי ווערן דער עיקר גענוצט ווי רייניקונגס-אַגענטן און עטשינג-אַגענטן, און קענען אויך גענוצט ווערן ווי דאָפּאַנץ, פֿילם-פֿאָרמענדיקע מאַטעריאַלן, אאַז"וו. אין דעם אַרטיקל וועט דער מחבר אייך נעמען צו פֿאַרשטיין די געוויינטלעכע פלאָרין-האַלטיקע גאַזן.

די פאלגענדע זענען אָפט געניצטע פלאָרין-האַלטיקע גאַזן

שטיקשטאָף טריפלאָריד (NF3): א גאַז געניצט פֿאַר רייניקונג און אַוועקנעמען אָפּזאַץ, געוויינטלעך געניצט פֿאַר רייניקונג רעאַקציע קאַמערן און ויסריכט סערפאַסיז.

שוועבל העקסאַפלאָאָריד (SF6): א פלאָרינירנדיקער אגענט גענוצט אין אקסייד דעפאזיציע פראצעסן און אלס אן איזאלירנדיקער גאז פארן אנפילן איזאלירנדיקע מעדיע.

וואַסערשטאָף פלאָריד (HF): געניצט צו באַזייַטיקן אָקסיידן פון דער סיליקאָן ייבערפלאַך און ווי אַן עטשינג מאַטעריאַל פֿאַר עטשינג סיליקאָן און אַנדערע מאַטעריאַלן.

שטיקשטאָף פלאָריד (NF): געניצט צו עטשינג מאַטעריאַלן ווי סיליקאָן ניטריד (SiN) און אַלומינום ניטריד (AlN).

טריפלאָראָמעטהאַן (CHF3) אוןטעטראַפלאָראָמעטהאַן (CF4)גענוצט צו עצן פלאָריד מאַטעריאַלן ווי סיליקאָן פלאָריד און אַלומינום פלאָריד.

אבער, פלואר-אנטהאלטנדיקע גאזן האבן געוויסע געפארן, אריינגערעכנט טאקסיקיטעט, קאראזיוויטעט, און ברענעוודיקייט.

טאַקסיסיטי

געוויסע פלאָרין-אנטהאלטנדיקע גאַזן זענען טאַקסיק, ווי למשל וואַסערשטאָף פלאָריד (HF), וועמענס פארע איז שטאַרק יריטייטינג צו דער הויט און רעספּעראַטאָרישע טראַקט און שעדלעך פֿאַר מענטשלעכער געזונט.

קאָראָזיוונאַס

וואַסערשטאָף פלאָריד און עטלעכע פלאָריידן זענען שטאַרק קעראָוסיוו און קענען שאַטן דער הויט, אויגן און רעספּעראַטאָרישע טראַקט.

ברענענדיקייט

געוויסע פלאָרידן זענען ברענעוודיק און רעאַגירן מיט זויערשטאָף אָדער וואַסער אין דער לופט צו באַפרייען שטאַרקע היץ און טאַקסישע גאַזן, וואָס קענען פאַראורזאַכן פייַער אָדער עקספּלאָזיע.

הויך-דרוק געפאַר

געוויסע פלוארינירטע גאזן זענען אויפרייסנדיק אונטער הויכן דרוק און דאַרפן ספּעציעלע זאָרג ווען זיי ווערן גענוצט און אויפגעהיט.

השפּעה אויף דער סביבה

פלאָרין-האַלטיקע גאַזן האָבן הויכע אַטמאָספערישע לעבנסדויער און GWP ווערטן, וואָס האָבן אַ דעסטרוקטיווע ווירקונג אויף דער אַטמאָספערישער אָזאָן שיכט און קענען פאַראורזאַכן גלאָבאַלע דערהיצונג און סביבה-פאַרפּעסטיקונג.

די אנווענדונג פון גאזן אין אויפקומענדיקע פעלדער ווי עלעקטראניק פארטיפט זיך ווייטער, ברענגענדיג א גרויסע מאס נייע נאכפראגע פאר אינדוסטריעלע גאזן. באזירט אויף דער גרויסער מאס נייער פראדוקציע קאפאציטעט פון הויפט עלעקטראנישע קאמפאנענטן ווי האלב-קאנדוקטארן און דיספלעי פאנעלן אין כינע אין די נעקסטע פאר יאר, ווי אויך די שטארקע נאכפראגע פאר אימפארט סובסטיטוציע פון ​​עלעקטראנישע כעמישע מאטעריאלן, וועט די דינער עלעקטראנישע גאז אינדוסטריע ברענגען א הויכע וואוקס ראטע.