עלעקטראָנישספּעציעל גאַסאַזזענען אַ וויכטיק צווייַג פון ספּעציעל גאַסאַז. זיי דורכנעמען כּמעט יעדער פֿאַרבינדונג פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע און זענען ינדיספּענסאַבאַל רוי מאַטעריאַלס פֿאַר די פּראָדוקציע פון ​​עלעקטראָניש ינדאַסטריז אַזאַ ווי הינטער-גרויס-וואָג ינאַגרייטיד סערקאַץ, פלאַך טאַפליע אַרויסווייַזן דעוויסעס און זונ - סעלז.

אין סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע, פלאָרין-מיט גאַסאַז זענען וויידלי געניצט. דערווייַל, אין די גלאבאלע עלעקטראָניש גאַז מאַרק, פלאָרין-מיט עלעקטראָניש גאַז אַקאַונץ פֿאַר וועגן 30% פון די גאַנץ. פלואָרינע-מיט עלעקטראָניש גאַסאַז זענען אַ וויכטיק קאָמפּאָנענט פון ספּעציעל עלעקטראָניש גאַסאַז אין די פעלד פון עלעקטראָניש אינפֿאָרמאַציע מאַטעריאַלס. זיי זענען דער הויפּט געניצט ווי רייניקונג אגענטן און עטשינג אגענטן, און קענען אויך זיין געוויינט ווי דאָפּאַנץ, פילם-פאָרמינג מאַטעריאַלס, אאז"ו ו. אין דעם אַרטיקל, דער מחבר וועט נעמען איר צו פֿאַרשטיין די פּראָסט פלאָרין-מיט גאַסאַז.

די פאלגענדע זענען קאַמאַנלי געניצט פלאָרין-מיט גאַסאַז

ניטראָגען טריפלאָרידע (NF3): א גאַז געניצט פֿאַר רייניקונג און רימוווינג דיפּאַזאַץ, יוזשאַוואַלי געניצט פֿאַר רייניקונג אָפּרוף טשיימבערז און ויסריכט סערפאַסיז.

שוועבל העקסאַפלואָרידע (SF6): א פלואָרינאַטינג אַגענט געניצט אין אַקסייד דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז און ווי אַ ינסאַלייטינג גאַז פֿאַר פילונג ינסאַלייטינג מידיאַ.

הידראָגען פלאָרייד (HF): געניצט צו באַזייַטיקן אַקסיידז פון די סיליציום ייבערפלאַך און ווי אַ עטשאַנט פֿאַר עטשינג סיליציום און אנדערע מאַטעריאַלס.

ניטראָגען פלאָרייד (NF): געניצט צו עטשינג מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליציום ניטריד (SiN) און אַלומינום ניטרידע (AlN).

טריפלואָראָמעטהאַנע (CHF3) אוןטעטראַפלואָראָמעטהאַן (CF4): געניצט צו עטשען פלאָרייד מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליציום פלאָרייד און אַלומינום פלאָרייד.

אָבער, פלאָרין-מיט גאַסאַז האָבן זיכער דיינדזשערז, אַרייַנגערעכנט טאַקסיסאַטי, קעראָוסיוונאַס און ברענוואַרג.

טאַקסיסאַטי

עטלעכע פלואָרינע-מיט גאַסאַז זענען טאַקסיק, אַזאַ ווי הידראָגען פלאָרייד (HF), וועמענס פארע איז העכסט יראַטייטינג צו די הויט און רעספּעראַטאָרי שעטעך און שעדלעך פֿאַר מענטש געזונט.

קעראָוסיוונאַס

הידראָגען פלאָרייד און עטלעכע פלאָריידז זענען העכסט קעראָוסיוו און קענען אָנמאַכן ערנסט שעדיקן צו די הויט, אויגן און רעספּעראַטאָרי שעטעך.

פלאַממאַביליטי

עטלעכע פלואָרידעס זענען ברענעוודיק און רעאַגירן מיט זויערשטאָף אָדער וואַסער אין די לופט צו באַפרייַען טיף היץ און טאַקסיק גאַסאַז, וואָס קען פאַרשאַפן פייַער אָדער יקספּלאָוזשאַן.

הויך-דרוק ריזיקירן

עטלעכע פלואָרינאַטעד גאַסאַז זענען יקספּלאָוסיוו אונטער הויך דרוק און דאַרפן ספּעציעל זאָרג ווען געוויינט און סטאָרד.

פּראַל אויף די סוויווע

פלואָרינע-מיט גאַסאַז האָבן הויך אַטמאַספעריק לעבן און GWP וואַלועס, וואָס האָבן אַ דעסטרוקטיווע ווירקונג אויף די אַטמאַספעריק אָזאָנע שיכטע און קען פאַרשאַפן גלאבאלע וואָרמינג און ינווייראַנמענאַל פאַרפּעסטיקונג.

די אַפּלאַקיישאַן פון גאַסאַז אין ימערדזשינג פעלדער אַזאַ ווי עלעקטראָניק האלט צו דיפּער, וואָס ברענגט אַ גרויס נומער פון נייַע פאָדערונג פֿאַר ינדאַסטריאַל גאַסאַז. באַזירט אויף די גרויס סומע פון ​​​​נייַ פּראָדוקציע קאַפּאַציטעט פון הויפּט עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ אַזאַ ווי סעמיקאַנדאַקטערז און אַרויסווייַזן פּאַנאַלז אין יאַבאָשע טשיינאַ אין די קומענדיק ביסל יאָרן, ווי געזונט ווי די שטאַרק פאָדערונג פֿאַר אַרייַנפיר סאַבסטיטושאַן פון עלעקטראָניש כעמישער מאַטעריאַלס, די דינער עלעקטראָניש גאַז אינדוסטריע וועט אַרוישעלפן אין. אַ הויך וווּקס קורס.