דער מערסט גענוצטער עלעקטראָנישער ספּעציעלער גאַז – ניטראָגען טריפֿלאָאָריד

געוויינטלעכע פלואָר-האַלטיקע ספּעציעלע עלעקטראָנישע גאַזן אַרייַננעמעןשוועבל העקסאַפלאָריד (SF6)טאַנגסטאַן העקסאַפלאָרידע (WF6),קאַרבאָן טעטראַפלאָריד (CF4), טריפלאָראָמעטהאַן (CHF3), ניטראָגען טריפלאָריד (NF3), העקסאַפלואָרעטאַן (C2F6) און אָקטאַפלאָראָפּראָפּאַן (C3F8).

מיט דער אַנטוויקלונג פֿון נאַנאָטעכנאָלאָגיע און דער גרויסמאָסשטאַביגער אַנטוויקלונג פֿון דער עלעקטראָניק אינדוסטריע, וועט איר נאָכפֿראַגע וואַקסן טאָג־טעגלעך. ניטראָגען טריפֿלאָאָריד, ווי אַן אומפֿאַרמיידלעכער און גרעסטער־גענוצטער ספּעציעלער עלעקטראָנישער גאַז אין דער פּראָדוקציע און פּראָצעסירונג פֿון פּאַנעלן און האַלב־קאָנדוקטאָרן, האָט אַ ברייטן מאַרק.

אלס א טיפ פלואר-אנטהאלטנדיק ספעציעל גאז,שטיקשטאָף טריפלאָריד (NF3)איז דער עלעקטראָנישער ספּעציעלער גאַז פּראָדוקט מיט דער גרעסטער מאַרק קאַפּאַציטעט. עס איז כעמיש אינערט ביי צימער טעמפּעראַטור, מער אַקטיוו ווי זויערשטאָף ביי הויך טעמפּעראַטור, מער סטאַביל ווי פלאָרין, און גרינג צו שעפּן. ניטראָגען טריפלאָריד ווערט דער הויפּט געניצט ווי אַ פּלאַזמע עטשינג גאַז און אַ רעאַקציע קאַמער רייניקונג אַגענט, און איז פּאַסיק פֿאַר די מאַנופאַקטורינג פעלדער פון האַלב-קאָנדוקטאָר טשיפּס, פלאַך פּאַנעל דיספּלייז, אָפּטישע פיבערס, פאָטאָוואָלטאַיק סעלז, עטק.

קאַמפּערד מיט אַנדערע פלאָרין-האַלטיקע עלעקטראָנישע גאַזן,ניטראָגען טריפלאָרידהאט די מעלות פון שנעלע רעאקציע און הויכע עפעקטיווקייט. ספעציעל ביים איינצעצן פון סיליקאן-אנטהאלטנדיקע מאטעריאלן ווי סיליקאן ניטריד, האט עס א הויכע איינצעצן ראטע און סעלעקטיוויטעט, לאזנדיג קיין רעשטלעך נישט אויף דער ייבערפלאך פון דעם איינגעצעטן אביעקט. עס איז אויך א זייער גוטער רייניקונגס-אגענט און האט נישט קיין פארפעסטיקונג אויף דער ייבערפלאך, וואס קען מקיים זיין די באדערפענישן פון דעם באארבעטונגס-פראצעס.