די מערסט געוויינט עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז - ניטראָגען טריפלואָרידע

פּראָסט פלאָרין-כּולל ספּעציעל עלעקטראָניש גאַסאַז אַרייַננעמעןסולפור העקסאַפלואָרידע (ספ 6), טאַנגסטען העקסאַפלואָרידע (WF6),טשאַד טעטראַפלואָרידע (קפ 4), טריפלואָראָמעטהאַנע (טשפ 3), ניטראָגען טריפלואָרידע (נפ 3), העקסאַפלואָראָעטהאַנע (ק 2F6) און אָקטאַפלואָראָפּראָפּאַנע (C3F8).

מיט דער אַנטוויקלונג פון נאַנאָטעטשנאָלאָגי און די גרויס אַנטוויקלונג פון די עלעקטראָניק אינדוסטריע, די פאָדערונג וועט פאַרגרעסערן טאָג דורך טאָג. ניטראָגען טריפלואָרידע, ווי אַ ינדיספּענסאַבאַל און גרעסטער-געוויינט ספּעציעל עלעקטראָניש גאַז אין פּראָדוקציע און פּראַסעסינג פּאַנאַלז און סעמיקאַנדאַקטער, האט אַ ברייט מאַרק פּלאַץ.

ווי אַ טיפּ פון פלאָרין-כּולל ספּעציעל גאַז,ניטראָגען טריפלואָרידע (nf3)איז די עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז פּראָדוקט מיט דעם גרעסטן מאַרק קאַפּאַציטעט. עס איז כעמיש ינערט אין צימער טעמפּעראַטור, מער אַקטיוו ווי זויערשטאָף ביי הויך טעמפּעראַטור, מער סטאַביל ווי פלאָרין און גרינג צו האַנדלען. ניטראָגען טריפלואָרידע איז דער הויפּט געניצט ווי אַ פּלאַזמאַ עטשינג גאַז און איז פּאַסיק פֿאַר די מאַנופאַקטורינג פיעלדס פון סעמיקאַנדאַקטער טשיפּס, פלאַך פּאַנעל דיספּלייז, אָפּטיש פייבערז, פאָטאָוואָלטאַיק סעלז, עטק.

קאַמפּערד מיט אנדערע פלאָרין-כּולל עלעקטראָניש גאַסאַז,ניטראָגען טריפלואָרידעהאט די אַדוואַנטידזשיז פון שנעל אָפּרוף און הויך עפעקטיווקייַט. ספּעציעל אין די עטשינג פון סיליציום-כּולל מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליציום נייטרייד, עס האט אַ הויך עטשינג, און לאָזן קיין רעזאַדו אויף די ייבערפלאַך פון די עטשט כייפעץ. עס איז אויך אַ זייער גוט רייניקונג אַגענט און האט קיין פאַרפּעסטיקונג צו די ייבערפלאַך, וואָס קענען טרעפן די באדערפענישן פון די פּראַסעסינג פּראָצעס.