די מערסט געוויינט עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז - ניטראָגען טריפלאָרידע

פּראָסט פלאָרין-מיט ספּעציעל עלעקטראָניש גאַסאַז אַרייַננעמעןשוועבל העקסאַפלואָרידע (SF6)טאַנגסטאַן העקסאַפלאָרידע (WF6),טשאַד טעטראַפלאָרידע (CF4).

מיט דער אַנטוויקלונג פון נאַנאָטעטשנאָלאָגי און די גרויס-וואָג אַנטוויקלונג פון די עלעקטראָניק אינדוסטריע, זייַן פאָדערונג וועט פאַרגרעסערן טאָג צו טאָג. ניטראָגען טריפלאָרידע, ווי אַ ינדיספּענסאַבאַל און גרעסטער-גענוצט ספּעציעל עלעקטראָניש גאַז אין די פּראָדוקציע און פּראַסעסינג פון פּאַנאַלז און סעמיקאַנדאַקטערז, האט אַ ברייט מאַרק פּלאַץ.

ווי אַ טיפּ פון פלאָרין-מיט ספּעציעל גאַז,ניטראָגען טריפלאָרידע (NF3)איז די עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז פּראָדוקט מיט די גרעסטע מאַרק קאַפּאַציטעט. עס איז כעמיש ינערט אין צימער טעמפּעראַטור, מער אַקטיוו ווי זויערשטאָף אין הויך טעמפּעראַטור, מער סטאַביל ווי פלאָרין און גרינג צו שעפּן. ניטראָגען טריפלאָרידע איז דער הויפּט געניצט ווי אַ פּלאַזמע עטשינג גאַז און אַ אָפּרוף קאַמער רייניקונג אַגענט, און איז פּאַסיק פֿאַר די מאַנופאַקטורינג פעלדער פון סעמיקאַנדאַקטער טשיפּס, פלאַך טאַפליע דיספּלייז, אָפּטיש פייבערז, פאָטאָוואָלטאַיק סעלז, עטק.

קאַמפּערד מיט אנדערע פלאָרין-מיט עלעקטראָניש גאַסאַז,ניטראָגען טריפלאָרידעהאט די אַדוואַנטידזשיז פון שנעל אָפּרוף און הויך עפעקטיווקייַט. ספּעציעל אין די עטשינג פון סיליציום-מיט מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליציום ניטריד, עס האט אַ הויך עטשינג קורס און סעלעקטיוויטי, און לאָזן קיין רעזאַדו אויף די ייבערפלאַך פון די עטשט כייפעץ. עס איז אויך אַ זייער גוט רייניקונג אַגענט און האט קיין פאַרפּעסטיקונג צו די ייבערפלאַך, וואָס קענען טרעפן די באדערפענישן פון די פּראַסעסינג פּראָצעס.