אונדזער לאַנד 'ס סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע און טאַפליע אינדוסטריע טייַנען אַ הויך ינערייטיוו. ניטראָגען טריפלואָרידע, ווי אַ ינדיספּענסאַבאַל און די גרעסטע באַנד פון עלעקטראָניש גאַז אין פּראָדוקציע און פּראַסעסינג פון פּאַנאַלז און סעמיקאַנדאַקטער, האט אַ ברייט מאַרק פּלאַץ.
קאַמאַנלי געוויינט פלאָרין-כּולל ספּעציעל עלעקטראָניש גאַסאַז אַרייַננעמעןסולפור העקסאַפלואָרידע (ספ 6), טאַנגסטען העקסאַפלואָרידע (WF6),טשאַד טעטראַפלואָרידע (קפ 4), טריפלואָראָמעטהאַנע (טשפ 3), ניטראָגען טריפלואָרידע (נפ 3), העקסאַפלואָראָעטהאַנע (ק 2F6) און אָקטאַפלואָראָפּראָפּאַנע (C3F8). ניטראָגען טריפלואָרידע (נפ 3) איז דער הויפּט געניצט ווי אַ פלאָרין מקור פֿאַר הידראָגען פלאָרייד-פלאָרייד פלאָרייד גאַז הויך-ענערגיע כעמישער לייזערז. The effective part (about 25%) of the reaction energy between H2-O2 and F2 can be released by laser radiation, so HF-OF lasers are the most promising lasers among chemical lasers.
ניטראָגען טריפלואָרידע איז אַ ויסגעצייכנט פּלאַזמע עטשינג גאַז אין די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע. פֿאַר עטשינג סיליציום און סיליציום ניטרידע, ניטראָגען טרילואָרידע האט אַ העכער עטשינג, און סאַלעקטיוויטי ווי טשאַד טעטראַפלואָרידע און אַ געמיש פון טשאַד טעטראַפלואָרידע און זויערשטאָף, און האט קיין פאַרפּעסטיקונג צו די ייבערפלאַך. ספּעציעל אין די עטשינג פון ינאַגרייטיד קרייַז מאַטעריאַלס מיט אַ גרעב פון ווייניקער ווי 1.5 1, ניטראָגען טרילואָרידע האט אַ זייער ויסגעצייכנט ריפלואָרידע האט אַ זייער ויסגעצייכנט ערשטן. מיט דער אַנטוויקלונג פון נאַנאָטעטשנאָלאָגי און די גרויס אַנטוויקלונג פון די עלעקטראָניק אינדוסטריע, די פאָדערונג וועט פאַרגרעסערן טאָג דורך טאָג.
ווי אַ טיפּ פון פלאָרין-כּולל ספּעציעל גאַז, ניטראָגען טריפלואָרידע (נפ 3) איז דער גרעסטער עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז פּראָדוקט אין די מאַרק. עס איז כעמיש ינערט אין צימער טעמפּעראַטור, מער אַקטיוו ווי זויערשטאָף, מער סטאַביל ווי פלאָרין און גרינג צו האַנדלען מיט ביי הויך טעמפּעראַטור.
ניטראָגען טריפלואָרידע איז דער הויפּט געניצט ווי פּלאַזמע עטשינג גאַז און אָפּרוף טשאַמבער רייניקונג אַגענט, פּאַסיק פֿאַר מאַנופאַקטורינג פעלדער, אַזאַ ווי סעמיקאַנדאַקטער טשישן, די פלאַך פּאַנעל דיספּלייז, אָפּטיש פייבערז, פאָטאָוואָלטאַיק סעלז, עטק.
קאַמפּערד מיט אנדערע פלאָריין-מיט עלעקטראָניש גאַסאַז, ניטראָגען טרילואָרידע האט די אַדוואַנטידזשיז פון שנעל אָפּרוף און הויך עפעקטיווקייַט, ספּעציעל די ייבערפלאַך, ספּעציעל ייבערפלאַך און קענען טרעפן די באדערפענישן פּראַסעסינג פּראָצעס.
פּאָסטן צייט: 8-1024 26-2024
