אונדזער לאַנד'ס האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע און פּאַנעל אינדוסטריע האַלטן אַ הויך מדרגה פון וווילשטאַנד. ניטראָגען טריפלאָריד, ווי אַן אומפאַרלאַנגבאַרער און גרעסטן-וואָלומען ספּעציעלער עלעקטראָנישער גאַז אין דער פּראָדוקציע און פאַראַרבעטונג פון פּאַנעלן און האַלב-קאָנדוקטאָרן, האט אַ ברייטן מאַרק פּלאַץ.
אָפט גענוצטע פלאָרין-האַלטיקע ספּעציעלע עלעקטראָנישע גאַזן אַרייַננעמעןשוועבל העקסאַפלאָריד (SF6)טאַנגסטאַן העקסאַפלאָרידע (WF6),קאַרבאָן טעטראַפלאָריד (CF4), טריפלאָראָמעטהאַן (CHF3), ניטראָגען טריפלאָריד (NF3), העקסאַפלאָאָראָעטאַן (C2F6) און אָקטאַפלאָראָפּראָפּאַן (C3F8). ניטראָגען טריפלאָריד (NF3) ווערט הויפּטזעכלעך גענוצט ווי אַ פלאָר מקור פֿאַר וואַסערשטאָף פלאָריד-פלאָריד גאַז הויך-ענערגיע כעמישע לאַזערס. דער עפעקטיווער טייל (וועגן 25%) פון דער רעאַקציע ענערגיע צווישן H2-O2 און F2 קען ווערן באַפרייט דורך לאַזער ראַדיאַציע, אַזוי HF-OF לאַזערס זענען די מערסט פּראַמאַסינג לאַזערס צווישן כעמישע לאַזערס.
שטיקשטאָף טריפלאָריד איז אַן אויסגעצייכנטער פּלאַזמע עטשינג גאַז אין דער מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע. פֿאַר עטשינג סיליקאָן און סיליקאָן ניטריד, האט שטיקשטאָף טריפלאָריד אַ העכערע עטשינג קורס און סעלעקטיוויטי ווי קאַרבאָן טעטראַפלאָריד און אַ געמיש פון קאַרבאָן טעטראַפלאָריד און זויערשטאָף, און האט נישט קיין פאַרפּעסטיקונג צו דער ייבערפלאַך. ספּעציעל אין דער עטשינג פון אינטעגרירטע קרייַז מאַטעריאַלן מיט אַ גרעב פון ווייניקער ווי 1.5µm, האט שטיקשטאָף טריפלאָריד אַ זייער אויסגעצייכנטע עטשינג קורס און סעלעקטיוויטי, לאָזנדיק נישט קיין רעשט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם געעכטן אָביעקט, און איז אויך אַ זייער גוטער רייניקונג אַגענט. מיט דער אַנטוויקלונג פון נאַנאָטעכנאָלאָגיע און דער גרויס-וואָג אַנטוויקלונג פון דער עלעקטראָניק אינדוסטריע, וועט זיין פאָדערונג וואַקסן טאָג ביי טאָג.
אלס א טיפ פלואר-אנטהאלטנדיק ספעציעל גאז, איז שטיקשטאף טריפלאוריד (NF3) דער גרעסטער עלעקטראנישער ספעציעלער גאז פראדוקט אויפן מארק. עס איז כעמיש אינערט ביי צימער טעמפעראטור, מער אקטיוו ווי זויערשטאף, מער סטאביל ווי פלואר, און גרינג צו באהאנדלען ביי הויכער טעמפעראטור.
ניטראָגען טריפלאָריד ווערט דער הויפּט גענוצט ווי אַ פּלאַזמע עטשינג גאַז און רעאַקציע קאַמער רייניקונג אַגענט, פּאַסיק פֿאַר מאַנופאַקטורינג פעלדער ווי האַלב-קאָנדוקטאָר טשיפּס, פלאַך טאַפליע דיספּלייז, אָפּטישע פיבערס, פאָטאָוואָלטאַיק סעלז, עטק.
קאַמפּערד מיט אַנדערע פלאָרין-האַלטיקע עלעקטראָנישע גאַזן, האט ניטראָגען טריפלאָריד די מעלות פון שנעלער רעאַקציע און הויך עפעקטיווקייט, ספּעציעל אין דעם עטשינג פון סיליקאָן-האַלטיקע מאַטעריאַלן ווי סיליקאָן ניטריד, עס האט אַ הויך עטשינג קורס און סעלעקטיוויטי, לאָזנדיק קיין רעזאַדו אויף דער ייבערפלאַך פון דעם געעטשעטן אָביעקט, און איז אויך אַ זייער גוטער רייניקונג אַגענט, און עס איז נישט פאַרפּעסטיקנדיק צו דער ייבערפלאַך און קען טרעפן די באדערפענישן פון דעם פּראַסעסינג פּראָצעס.
פּאָסט צייט: 26 דעצעמבער 2024
