אין דער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון סעמיקאַנדאַקטער וואַפער יסורעס מיט לעפיערעך אַוואַנסירטע פּראָדוקציע פּראַסעסאַז, קימאַט 50 פאַרשידענע טייפּס פון גאַסאַז זענען דארף. גאַסאַז זענען בכלל צעטיילט אין פאַרנעם גאַסאַז אוןספּעציעלע גאַסאַז.

אַפּפּליקאַטיאָן פון גאַסאַז אין מיקראָוילעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז די נוצן פון גאַסאַז האט שטענדיק געשפילט אַ וויכטיק ראָלע אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז זענען וויידלי געניצט אין פאַרשידן ינדאַסטריז. פון ULSI, TTH-LCD צו די קראַנט מיקראָ-עלעקטראָמעטשאַניקאַל (MEMS) אינדוסטריע, פימעראָנדאַקטער פּראַסעסאַז זענען געניצט ווי פּראָדוקט מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז, אַרייַנגערעכנט טרוקן עטשינג, אָקסאַדיישאַן, יאָן ימפּלאַנטיישאַן, עטק.

פֿאַר בייַשפּיל, פילע מענטשן וויסן אַז טשיפּס זענען געמאכט פון זאַמד, אָבער איר זוכט פֿאַר די גאנצע פּראָצעס פון פּראָצעס פאַבריקאַנט, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס, מער מאַטעריאַלס זענען דארף, אַזאַ ווי פאָטאָרעסיסט, פּאַלישיטינג פליסיק, טאַרגעט מאַטעריאַל, ספּעציעל גאַז, עטק. זענען ינדיספּענסאַבאַל. די פּאַקקאַגינג פּאַקקאַגינג אויך ריקווייערז סאַבסטרייץ, ינטערפּאָוזערז, פירן ראָמען, באַנדינג מאַטעריאַלס, עטק פון פאַרשידן מאַטעריאַלס. עלעקטראָניק ספּעציעל גאַסאַז זענען די צווייט גרעסטער מאַטעריאַל אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג קאָס נאָך סיליקאָן ווייפערז, נאכגעגאנגען דורך מאַסקס און פאָטאָרעסיסץ.

די ריינקייַט פון גאַז האט אַ באַשטימענדיק השפּעה אויף קאָמפּאָנענט פאָרשטעלונג און פּראָדוקט טראָגן, און די זיכערקייַט פון גאַז צושטעלן איז שייך צו די געזונט פון פּערסאַנעל און די זיכערקייַט פון פאַבריק אָפּעראַציע. פארוואס טוט די ריינקייַט פון גאַז האָבן אַזאַ אַ גרויס פּראַל אויף דעם פּראָצעס ליניע און פּערסאַנעל? דאָס איז נישט אַ יגזאַדזשעריישאַן, אָבער איז באשלאסן דורך די געפערלעך קעראַקטעריסטיקס פון די גאַז זיך.

קלאַסאַפאַקיישאַן פון פּראָסט גאַסאַז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע

פּראָסט גאַז

פּראָסט גאַז איז אויך גערופן פאַרנעם גאַז: עס רעפערס צו ינדאַסטריאַל גאַז מיט אַ ריינקייַט פאָדערונג נידעריקער ווי 5 ן און אַ גרויס פּראָדוקציע און פארקויפונג באַנד. עס קענען זיין צעטיילט אין לופט צעשיידונג גאַז און סינטעטיש גאַז לויט צו פאַרשידענע צוגרייטונג מעטהאָדס. הידראָגען (ה 2), ניטראָגען (N2), זויערשטאָף (O2), אַרגאַן (A2), עטק.;

ספּעציאַליטעט גאַז

ספּעציאַליטעט גאַז רעפערס צו ינדאַסטריאַל גאַז וואָס איז געניצט אין ספּעציפיש פעלדער און די ספּעציעלע באדערפענישן פֿאַר ריינקייַט, פאַרשיידנקייַט און פּראָפּערטיעס. דער הויפּטסיה 4, PH3, B2h6, A8H3,Hcl, CF4,נה 3, פּאָקל 3, סיה 2 סק 2 סקול 2 סקול 3,נה 3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,Sf6... און אַזוי אויף.

טייפּס פון ספּייסיאַל גאַסאַז

טייפּס פון ספּעציעל גאַסאַז: קעראָוסיוו, טאַקסיק, ברענעוודיק, קאַמבאַסטשאַן-סופּפּאָרטינג, ינערט עטק.
קאַמאַנלי געניצט סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען קלאַסאַפייד ווי גייט:
(i) קעראָוסיוו / טאַקסיק:Hcl, BF3, WF6, HBR, SIIH2CL2, NH3, PH3, CL2,Bcl3...
(II) ברענעוודיק: ה 2,CH4,סיה 4, PH3, ASH3, SIIH2CL2, B2h6, CH2F2, CH3F, CO ...
(III) ComMastible: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) ינערט: N2,CF4, C2f6,C4F8,Sf6, קאָ 2,Ne,Kr, ער ...

אין דעם פּראָצעס פון סעמיקאַנדאַקטער שפּאָן מאַנופאַקטורינג, וועגן 50 פאַרשידענע טייפּס פון ספּעציעל גאַסאַז (ריפערד צו ווי ספּעציעל גאַסאַז) זענען געניצט אין אַקסאַדיישאַן, דיפיוזשאַן, דיפיששאַן, דיפיששאַן, יטינגגישאָגראַפי און אנדערע פּראַסעסאַז, און די גאַנץ פּראָצעס סטעפּס יקסיד הונדערטער. למשל, ph3 און ASH3 זענען געוויינט ווי פאַספער סאָסיטאָרוס און אַרסעניק קוואלן אין די יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס, F2 / קרום גאַסאַז CI2, BCIOM, HBR3, HBR3, HBR3, HBR3, HBR3, HBRAIS CI2, BCIOM, HBRAIS CI2, BCIOM, HBRAIS PRIAS CI2, CCI3, GH4, HBRAIS PROSY, SH3, LCH4, NH3, למשל.

פון די אויבן אַספּעקץ, מיר קענען פֿאַרשטיין אַז פילע סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען שעדלעך פֿאַר די מענטשלעך גוף. אין באַזונדער, עטלעכע גאַסאַז, אַזאַ ווי סיה 4, זענען זיך-אָנצינדן. ווי לאַנג זיי רינען, זיי וועלן רעאַגירן ווייאַלאַנטלי מיט זויערשטאָף אין די לופט און אָנהייבן צו פאַרברענען; און אַש 3 איז העכסט טאַקסיק. קיין קליין ליקאַדזש קען פאַרשאַפן שעדיקן צו מענטשן 'ס לעבן, אַזוי די באדערפענישן פֿאַר די באדערפענישן פֿאַר די זיכערקייַט פון די קאָנטראָל סיסטעם פון זיכערקייַט פון די קאָנטראָל סיסטעם פֿאַר די נוצן פון ספּעציעל גאַסאַז זענען דער הויפּט הויך.

סעמיקאַנדאַקטער דאַרפן הויך-ריינקייַט גאַסאַז צו האָבן "דריי דיגריז"

גאַז ריינקייַט

דער אינהאַלט פון טומע אַטמאָספער אין די גאַז איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט ווי אַ פּראָצענט פון גאַזיינקייַט, אַזאַ ווי 99.9999%. אין אַלגעמיין, די ריינקייַט פאָדערונג פֿאַר עלעקטראָניש ספּעציעל גאַסיז ריטשאַז 5n-6n, און איז אויך אויסגעדריקט דורך די באַנד פאַרהעלטעניש פון טומע פּעפּם מגילה פּפּם (טייל פּער מיליאָן), פּפּב (טייל פּער ביליאָן), און פּפּ פּער בילליאָן). די עלעקטראָניש סעמיקאַנדע פעלד האט די העכסטן באדערפענישן פֿאַר די ריינקייַט און קוואַליטעט פעסטקייַט פון ספּעציעל גאַסאַז, און די ריינקייַט פון עלעקטראָניק ספּעציעל גאַסאַז איז בכלל גרעסער ווי 6 ן.

דריינאַס

דער אינהאַלט פון שפּור וואַסער אין די גאַז אָדער נאַסנאַס, איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין טוי פונט, אַזאַ ווי אַטמאָספעריק טוי פונט -70 ℃.

ריינקייַט

די נומער פון פּאַלוטאַנט פּאַרטיקאַלז אין די גאַז, פּאַרטיקאַלז מיט אַ פּאַרטאַקאַל גרייס פון μ ם, איז אויסגעדריקט אין ווי פילע פּאַרטיקאַלז / מ 3. פֿאַר קאַמפּרעסט לופט, עס איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין מג / מ 3 פון אַנאַוווידאַבאַל האַרט רעזאַדוז, וואָס כולל בוימל אינהאַלט.