אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון סעמיקאַנדאַקטער ווייפער פאַונדריז מיט לעפיערעך אַוואַנסירטע פּראָדוקציע פּראַסעסאַז, קימאַט 50 פאַרשידענע טייפּס פון גאַסאַז זענען דארף. גאַסאַז זענען בכלל צעטיילט אין פאַרנעם גאַסאַז אוןספּעציעל גאַסאַז.

אַפּפּליקאַטיאָן פון גאַסאַז אין מיקראָעלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז די נוצן פון גאַסאַז האט שטענדיק געשפילט אַ וויכטיק ראָלע אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז, ספּעציעל סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז זענען וויידלי געניצט אין פאַרשידן ינדאַסטריז. פֿון ULSI, TFT-LCD צו די קראַנט מיקראָ-ילעקטראָומאַטשאַניקאַל (מעמס) אינדוסטריע, סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז זענען געניצט ווי פּראָדוקט מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז, אַרייַנגערעכנט טרוקן עטשינג, אַקסאַדיישאַן, יאָן ימפּלאַנטיישאַן, דין פילם דעפּאַזישאַן, עטק.

פֿאַר בייַשפּיל, פילע מענטשן וויסן אַז טשיפּס זענען געמאכט פון זאַמד, אָבער איר זוכט אין די גאנצע פּראָצעס פון שפּאָן מאַנופאַקטורינג, מער מאַטעריאַלס זענען דארף, אַזאַ ווי פאָטאָרעסיסט, פּאַלישינג פליסיק, ציל מאַטעריאַל, ספּעציעל גאַז, אאז"ו ו. צוריק-סוף פּאַקקאַגינג אויך ריקווייערז סאַבסטרייץ, ינטערפּאָוזערז, פירן ראָמען, באַנדינג מאַטעריאַלס, אאז"ו ו פון פאַרשידן מאַטעריאַלס. עלעקטראָניש ספּעציעל גאַסאַז זענען די צווייט גרעסטער מאַטעריאַל אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג קאָס נאָך סיליציום ווייפערז, נאכגעגאנגען דורך מאַסקס און פאָטאָרעסיסץ.

די ריינקייַט פון גאַז האט אַ באַשטימענדיק השפּעה אויף קאָמפּאָנענט פאָרשטעלונג און פּראָדוקט טראָגן, און די זיכערקייַט פון גאַז צושטעלן איז שייַכות צו דער געזונט פון פּערסאַנעל און די זיכערקייַט פון פאַבריק אָפּעראַציע. פארוואס האט די ריינקייַט פון גאַז האָבן אַזאַ אַ גרויס פּראַל אויף די פּראָצעס שורה און פּערסאַנעל? דאָס איז נישט אַ גוזמע, אָבער איז באשלאסן דורך די געפערלעך קעראַקטעריסטיקס פון די גאַז זיך.

קלאַסאַפאַקיישאַן פון פּראָסט גאַסאַז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע

פּראָסט גאַז

פּראָסט גאַז איז אויך גערופן פאַרנעם גאַז: עס רעפערס צו ינדאַסטרי גאַז מיט אַ ריינקייַט פאָדערונג נידעריקער ווי 5N און אַ גרויס פּראָדוקציע און פארקויפונג באַנד. עס קענען זיין צעטיילט אין לופט צעשיידונג גאַז און סינטעטיש גאַז לויט פאַרשידענע צוגרייטונג מעטהאָדס. הידראָגען (ה 2), ניטראָגען (נ 2), זויערשטאָף (אָ 2), אַרגאָן (אַ 2), אאז"ו ו;

ספּעציאַליטעט גאַז

ספּעציאַליטעט גאַז רעפערס צו ינדאַסטריאַל גאַז וואָס איז געניצט אין ספּעציפיש פעלדער און האט ספּעציעל רעקווירעמענץ פֿאַר ריינקייַט, פאַרשיידנקייַט און פּראָפּערטיעס. דער עיקרSiH4, PH3, B2H6, A8H3,הקל, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... און אַזוי אויף.

טייפּס פון ספּיישאַל גאַסאַז

טייפּס פון ספּעציעל גאַסאַז: קעראָוסיוו, טאַקסיק, ברענעוודיק, קאַמבאַסטשאַן שטיצן, ינערט, עטק.
קאַמאַנלי געניצט סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען קלאַסאַפייד ווי גייט:
(איך) קעראָוסיוו / טאַקסיק:הקל、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) ברענעוודיק: H2、CH4,SiH4, PH3 , Ash3 , SiH2Cl2 , B2H6 , CH2F2 , CH3F , CO ...
(iii) קאַמבאַסטאַבאַל: אָ 2, קל 2, נ 2 אָ, נ 3 ...
(יוו) ינערט: נ2,CF4C2F6,C4F8,SF6、CO2、Ne,Kr,ער...

אין דעם פּראָצעס פון מאַנופאַקטורינג פון סעמיקאַנדאַקטער שפּאָן, וועגן 50 פאַרשידענע טייפּס פון ספּעציעל גאַסאַז (ריפערד צו ווי ספּעציעל גאַסאַז) זענען געניצט אין אַקסאַדיישאַן, דיפיוזשאַן, דעפּאַזישאַן, עטשינג, ינדזשעקשאַן, פאָטאָליטאָגראַפי און אנדערע פּראַסעסאַז, און די גאַנץ פּראָצעס סטעפּס יקסיד הונדערטער. פֿאַר בייַשפּיל, PH3 און Ash3 זענען געניצט ווי פאָספאָרוס און אַרסעניק קוואלן אין די יאָן ימפּלאַנטיישאַן פּראָצעס, F-באזירט גאַסאַז CF4, CHF3, SF6 און האַלאָגען גאַסאַז CI2, BCI3, HBr זענען קאַמאַנלי געניצט אין די עטשינג פּראָצעס, SiH4, NH3, N2O אין די דעפּאַזישאַן פילם פּראָצעס, F2 / Kr / Ne, Kr / Ne אין די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס.

פון די אויבן אַספּעקץ, מיר קענען פֿאַרשטיין אַז פילע סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען שעדלעך צו דעם מענטש גוף. אין באַזונדער, עטלעכע פון ​​די גאַסאַז, אַזאַ ווי סיה 4, זענען זיך-צינדונג. ווי לאַנג ווי זיי רינען, זיי וועלן רעאַגירן ווייאַלאַנטלי מיט זויערשטאָף אין די לופט און אָנהייבן צו ברענען; און אַש3 איז העכסט טאַקסיק. קיין קליין ליקאַדזש קען שאַטן מענטשן ס לעבן, אַזוי די באדערפענישן פֿאַר די זיכערקייַט פון די קאָנטראָל סיסטעם פּלאַן פֿאַר די נוצן פון ספּעציעל גאַסאַז זענען דער הויפּט הויך.

סעמיקאַנדאַקטערז דאַרפן הויך ריינקייַט גאַסאַז צו האָבן "דרייַ דיגריז"

גאַז ריינקייַט

דער אינהאַלט פון טומע אַטמאָספער אין די גאַז איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט ווי אַ פּראָצענט פון גאַז ריינקייַט, אַזאַ ווי 99.9999%. אין אַלגעמיין, די ריינקייַט פאָדערונג פֿאַר עלעקטראָניש ספּעציעל גאַסאַז ריטשאַז 5N-6N, און איז אויך אויסגעדריקט דורך די באַנד פאַרהעלטעניש פון טומע אַטמאָספער אינהאַלט פּפּם (טייל פּער מיליאָן), פּפּב (טייל פּער ביליאָן), און פּפּט (טייל פּער טריליאַן). די עלעקטראָניש סעמיקאַנדאַקטער פעלד האט די העכסטן רעקווירעמענץ פֿאַר ריינקייַט און קוואַליטעט פעסטקייַט פון ספּעציעל גאַסאַז, און די ריינקייַט פון עלעקטראָניש ספּעציעל גאַסאַז איז בכלל גרעסער ווי 6 ן.

דריינאַס

דער אינהאַלט פון שפּור וואַסער אין די גאַז, אָדער נאַס, איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין טוי פונט, אַזאַ ווי אַטמאַספעריק טוי פונט -70 ℃.

ריינקייַט

די נומער פון פּאַלוטאַנט פּאַרטיקאַלז אין די גאַז, פּאַרטיקאַלז מיט אַ פּאַרטאַקאַל גרייס פון µm, איז אויסגעדריקט אין ווי פילע פּאַרטיקאַלז / מ 3. פֿאַר קאַמפּרעסט לופט, עס איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין מג / מ 3 פון אַנאַוווידאַבאַל האַרט רעזאַדוז, וואָס כולל ייל אינהאַלט.