אין דעם פאבריקאציע פראצעס פון האלב-קאנדוקטאר וועיפער גיסערייען מיט רעלאטיוו פארגעשריטענע פראדוקציע פראצעסן, ווערן כמעט 50 פארשידענע סארטן גאזן נויטיג. גאזן ווערן בכלל צעטיילט אין גרויסע גאזן אוןספּעציעלע גאַזן.

אנווענדונג פון גאזן אין מיקראעלעקטראניק און האלב-קאנדוקטאר אינדוסטריעס די נוצונג פון גאזן האט שטענדיג געשפילט א וויכטיגע ראלע אין האלב-קאנדוקטאר פראצעסן, ספעציעל האלב-קאנדוקטאר פראצעסן ווערן ברייט גענוצט אין פארשידענע אינדוסטריעס. פון ULSI, TFT-LCD ביז די היינטיגע מיקרא-עלעקטראמעכאנישע (MEMS) אינדוסטריע, האלב-קאנדוקטאר פראצעסן ווערן גענוצט אלס פראדוקט פאבריקאציע פראצעסן, אריינגערעכנט טרוקענע עטשינג, אקסידאציע, יאן אימפלאנטאציע, דין פילם דעפאזיציע, א.א.וו.

למשל, אסאך מענטשן ווייסן אז טשיפס ווערן געמאכט פון זאמד, אבער קוקנדיק אויף דעם גאנצן פראצעס פון טשיפ פאבריקאציע, זענען מער מאטעריאלן נויטיג, ווי פאטארעזיסט, פאליר-פליסיגקייט, ציל-מאטעריאל, ספעציעלע גאז, א.א.וו. זענען אומפארמיידלעך. הינטער-ענד פאקעדזשינג פארלאנגט אויך סובסטראטן, אינטערפאוזערס, ליד ראמען, בונדינג מאטעריאלן, א.א.וו. פון פארשידענע מאטעריאלן. עלעקטראנישע ספעציעלע גאזן זענען די צווייט גרעסטע מאטעריאל אין האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע קאסטן נאך סיליקאן וועיפערס, נאכגעפאלגט דורך מאסקעס און פאטארעזיסטן.

די ריינקייט פון גאז האט א באשטימטן איינפלוס אויף קאמפאנענטן-פארשטעלונג און פראדוקט-אויסגעבן, און די זיכערקייט פון גאז-צושטעל איז פארבונדן מיט דער געזונטהייט פון פערסאנעל און דער זיכערקייט פון פאבריק-אפעראציע. פארוואס האט די ריינקייט פון גאז אזא גרויסן איינפלוס אויף דער פראצעס-ליניע און פערסאנעל? דאס איז נישט קיין איבערטרייבונג, נאר עס ווערט באשטימט דורך די געפערלעכע אייגנשאפטן פון גאז אליין.

קלאַסיפֿיקאַציע פֿון געוויינטלעכע גאַזן אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע

געוויינטלעכע גאז

געוויינטלעכער גאז ווערט אויך גערופן גרויס גאז: עס באציט זיך צו אינדוסטריעלן גאז מיט א ריינקייט פארלאנג נידעריגער ווי 5N און א גרויסן פראדוקציע און פארקויף פארנעם. עס קען ווערן צעטיילט אין לופט צעשיידונג גאז און סינטעטישן גאז לויט פארשידענע צוגרייטונג מעטאדן. וואסערשטאף (H2), שטיקשטאף (N2), זויערשטאף (O2), ארגאן (A2), א.א.וו.;

ספּעציאַליטעט גאַז

ספעציאליטעט גאז באציט זיך צו אינדוסטריעלן גאז וואס ווערט גענוצט אין ספעציפישע פעלדער און האט ספעציעלע באדערפענישן פאר ריינקייט, פארשיידנקייט און אייגנשאפטן.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,הידראָטשלאָריד, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,סף6... און אַזוי ווייטער.

טיפּן פון געוויסע גאַזן

טיפן פון ספּעציעלע גאַזן: קעראָוסיוו, טאַקסיק, ברענעוודיק, פֿאַרברענונג-שטיצנדיק, ינערט, אאז"וו.
געוויינטלעך גענוצטע האַלב-קאָנדוקטאָר גאַזן ווערן קלאַסיפֿיצירט ווי פאלגנד:
(i) קאָראָזיוו/טאַקסיק:הידראָטשלאָרידBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2BCl3…
(ii) ברענענדיק: H2,CH4【SiH4, PH3 , Ash3 , SiH2Cl2 , B2H6 , CH2F2 , CH3F , CO ...
(iii) ברענענדיק: O2,Cl2,N2O,NF3…
(iv) אינערט: N2CF4C2F6C4F8【סף6CO2Ne【Krער…

אין דעם פּראָצעס פון האַלב-קאָנדוקטאָר טשיפּ פּראָדוקציע, ווערן בערך 50 פֿאַרשידענע טיפּן ספּעציעלע גאַזן (באַצייכנט ווי ספּעציעלע גאַזן) גענוצט אין אָקסידאַציע, דיפוזיע, דעפּאָזיציע, עטשינג, אינדזשעקשאַן, פאָטאָליטאָגראַפי און אַנדערע פּראָצעסן, און די גאַנצע פּראָצעס טריט איבערשטייגן הונדערטער. למשל, PH3 און AsH3 ווערן גענוצט ווי פאָספאָר און אַרסעניק קוועלער אין דעם יאָן אימפּלאַנטאַציע פּראָצעס, F-באַזירטע גאַזן CF4, CHF3, SF6 און האַלאָגען גאַזן CI2, BCI3, HBr ווערן געוויינטלעך גענוצט אין דעם עטשינג פּראָצעס, SiH4, NH3, N2O אין דעם דעפּאָזיציע פֿילם פּראָצעס, F2/Kr/Ne, Kr/Ne אין דעם פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס.

פֿון די אויבנדערמאָנטע אַספּעקטן, קענען מיר פֿאַרשטיין אַז פֿיל האַלב-קאָנדוקטאָר גאַזן זענען שעדלעך פֿאַרן מענטשלעכן קערפּער. ספּעציעל, עטלעכע פֿון די גאַזן, ווי למשל SiH4, זענען זיך-אָנצינדלעך. ווי לאַנג ווי זיי ליקן, וועלן זיי רעאַגירן שטאַרק מיט זויערשטאָף אין דער לופֿט און אָנהייבן צו ברענען; און AsH3 איז זייער טאָקסיש. יעדע קליינע ליקן קען שאַטן מענטשנס לעבן, אַזוי די פֿאָדערונגען פֿאַר דער זיכערקייט פֿון דעם קאָנטראָל סיסטעם פּלאַן פֿאַר דער נוצן פֿון ספּעציעלע גאַזן זענען באַזונדערס הויך.

האַלב-קאָנדוקטאָרן דאַרפן הויך-ריינקייט גאַזן צו האָבן "דריי גראַד"

גאַז ריינקייט

דער אינהאַלט פון אומריינקייט אַטמאָספער אין דעם גאַז ווערט געוויינטלעך אויסגעדריקט ווי אַ פּראָצענט פון גאַז ריינקייט, אַזאַ ווי 99.9999%. בכלל גערעדט, דער ריינקייט פאָדערונג פֿאַר עלעקטראָניש ספּעציעלע גאַזן דערגרייכט 5N-6N, און ווערט אויך אויסגעדריקט דורך די באַנד פאַרהעלטעניש פון אומריינקייט אַטמאָספער אינהאַלט ppm (טייל פּער מיליאָן), ppb (טייל פּער ביליאָן), און ppt (טייל פּער טריליאָן). דער עלעקטראָנישער האַלב-קאָנדוקטאָר פעלד האט די העכסטע פאָדערונגען פֿאַר די ריינקייט און קוואַליטעט פעסטקייט פון ספּעציעלע גאַזן, און די ריינקייט פון עלעקטראָניש ספּעציעלע גאַזן איז בכלל גרעסער ווי 6N.

טריקעניש

דער אינהאַלט פון שפּור וואַסער אין דעם גאַז, אָדער נאַס, ווערט געוויינטלעך אויסגעדריקט אין טוי פּונקט, אַזאַ ווי אַטמאָספערישער טוי פּונקט -70℃.

ריינקייט

די צאָל פון פאַרפּעסטיקונג פּאַרטיקלען אין דעם גאַז, פּאַרטיקלען מיט אַ פּאַרטיקל גרייס פון µm, ווערט אויסגעדריקט אין ווי פיל פּאַרטיקלען/M3. פֿאַר קאַמפּרעסט לופט, ווערט עס געוויינטלעך אויסגעדריקט אין mg/m3 פון אַנאַוווידאַבאַל האַרטע רעשטלעך, וואָס כולל די אויל אינהאַלט.