עפּיטאַקסיאַל (וואוקס)געמישטע גאs

אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, ווערט דער גאַז וואָס ווערט גענוצט צו וואַקסן איין אָדער מער שיכטן פון מאַטעריאַל דורך כעמישע פארע-דעפּאַזישאַן אויף אַ קערפֿול אויסגעקליבענעם סאַבסטראַט גערופן עפּיטאַקסיאַל גאַז.

אָפט גענוצטע סיליקאָן עפּיטאַקסיאַל גאַזן אַרייַננעמען דיטשלאָראָסילאַן, סיליקאָן טעטראַטשלאָריד אוןסילאַנעהויפּטזעכליך גענוצט פֿאַר עפּיטאַקסיאַל סיליקאָן דעפּאַזישאַן, סיליקאָן אָקסייד פֿילם דעפּאַזישאַן, סיליקאָן ניטריד פֿילם דעפּאַזישאַן, אַמאָרפֿע סיליקאָן פֿילם דעפּאַזישאַן פֿאַר זונ - צעלן און אַנדערע פֿאָטאָרעצעפּטאָרן, אאַז"וו. עפּיטאַקסי איז אַ פּראָצעס אין וועלכן אַן איינציק קריסטאַל מאַטעריאַל ווערט דעפּאַזיטירט און געוואַקסן אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון אַ סאַבסטראַט.

געמישטע גאזן פון כעמישע פארע-אפזעצונג (CVD)

CVD איז א מעטאד פון אפלייגן געוויסע עלעמענטן און פארבינדונגען דורך גאז-פאזע כעמישע רעאקציעס ניצנדיק פליכטיגע פארבינדונגען, ד.ה. א פילם-פארמענדיקונג מעטאד ניצנדיק גאז-פאזע כעמישע רעאקציעס. דעפענדינג אויף דעם טיפ פילם וואס ווערט געשאפן, איז דער כעמישער פארע-אפליישונג (CVD) גאז וואס ווערט גענוצט אויך אנדערש.

דאָפּינגגעמישט גאז

אין דער פאבריקאציע פון ​​האלב-קאנדוקטאר דעווייסעס און אינטעגרירטע קרייזן, ווערן געוויסע אומריינקייטן אריינגעמישט אין האלב-קאנדוקטאר מאטעריאלן כדי צו געבן די מאטעריאלן דעם פארלאנגטן קאנדוקטיוויטעט טיפ און א געוויסע קעגנשטאנד צו פאבריצירן קעגנשטאנדן, פּי-ען-ען דזשאנקשאנס, באגראבענע שיכטן, אא"וו. דער גאז וואס ווערט גענוצט אין דעם דאפינג פראצעס ווערט גערופן דאפינג גאז.

דער עיקר כולל אַרסין, פאָספין, פאָספאָר טריפלאָריד, פאָספאָר פּענטאַפלאָריד, אַרסעניק טריפלאָריד, אַרסעניק פּענטאַפלאָריד,באָר טריפלאָריד, דיבאָראַן, אאז"וו.

געוויינטלעך ווערט די דאָפּינג קוואַל געמישט מיט אַ טרעגער גאַז (ווי אַרגאָן און שטיקשטאָף) אין אַ קוואַל קאַבינעט. נאָך דעם ווי מען מישט, ווערט דער גאַז שטראָם קעסיידער אינדזשעקטירט אין דעם דיפוזיע אויוון און אַרומרינגלט דעם וועיפער, אָפּזעצנדיק דאָפּאַנץ אויף דער ייבערפלאַך פון דעם וועיפער, און דערנאָך רעאַגירנדיק מיט סיליקאָן צו שאַפֿן דאָפּירטע מעטאַלן וואָס מיגרירן אין סיליקאָן.

עטשינגגאַז געמיש

עטשינג איז צו אוועקעטשינג די פּראַסעסינג ייבערפלאַך (אַזאַ ווי מעטאַל פילם, סיליקאָן אָקסייד פילם, אאז"וו) אויף די סאַבסטראַט אָן פאָטאָרעזיסט מאַסקינג, בשעת פּרעזערווינג די געגנט מיט פאָטאָרעזיסט מאַסקינג, אַזוי צו באַקומען די פארלאנגטע בילדגעבונג מוסטער אויף די סאַבסטראַט ייבערפלאַך.

עטשינג מעטאָדן אַרייַננעמען נאַס כעמיש עטשינג און טרוקן כעמיש עטשינג. דער גאַז געניצט אין טרוקן כעמיש עטשינג ווערט גערופן עטשינג גאַז.

עטשינג גאז איז געוויינטלעך פלואריד גאז (האַליד), ווי צום ביישפּילקאַרבאָן טעטראַפלאָריד, ניטראָגען טריפלאָריד, טריפלאָראָמעטהאַן, העקסאַפלאָאָראָעטאַן, פּערפלאָראָפּראָפּאַן, אאז"וו.