עפּיטאַקסיאַל (וווּקס)געמישט גאַs

אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, די גאַז געניצט צו וואַקסן איינער אָדער מער לייַערס פון מאַטעריאַל דורך כעמישער פארע דעפּאַזישאַן אויף די קערפאַלי אויסגעקליבן סאַבסטרייט איז גערופֿן יפּיטאַקסיאַל גאַז.

קאַמאַנלי געוויינט סיליציום עפּיטאַקסיאַל גאַסאַז אַרייַננעמען דיטשלאָראָסילאַנע, סיליציום טעטראַטשלאָרידע אוןסילאַנע. דער הויפּט געניצט פֿאַר עפּיטאַקסיאַל סיליציום, סיליציום אַקסעססידערז פון סיליציום אַקסעזשיט, סיליקאָן ניטרידע פילם דיפּערז און אנדערע פאָטאָרעסעפּטערז, עטקטאָר סעלז און אַ איין-קריסטלעך.

כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) געמישט גאַז

CVD איז אַ מעטאָד צו דאַפּאַזיטינג זיכער עלעמענטן דורך גאַז פאַסע כעמיש ריאַקשאַנז ניצן וואַלאַטאַל קאַמפּאַונדז, הייסט, אַזוי, אַ פילם פאָרמינג אופֿן מיט גאַז פעבער ריאַקשאַנז. דעפּענדינג אויף די טיפּ פון פילם געשאפן, דער כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) גאַז געוויינט איז אויך אַנדערש.

דאָפּינגגעמישט גאַז

אין דער פּראָדוצירן פון סעמיקאַנדאַקטער דיווייסאַז און ינאַגרייטיד סערקאַץ, זיכער ימפּיוראַטיז זענען דאָפּט אין סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס, פּן דזשונקטיאָנס, פּורע דאַפינגז, עטק געניצט אין די דאַפּינג פּראָצעס, עטק געניצט אין די דאַפּינג פּראָצעס, עטק געניצט אין די דאַפּינג פּראָצעס, עטק געניצט אין די דאַפּינג פּראָצעס.

דער הויפּט כולל אַרסינע, פאַספינע, פאַספעראַס טריפלואָרידע, פאַספעראַס פּענטאַפלואָרידע, אַרסעניק טריפלואָרידע, אַרסעניק פּענטאַפלואָרידע,boron טריפלואָרידע, דיבאַראַנע, עטק.

יוזשאַוואַלי, די דאָפּינג מקור איז געמישט מיט אַ טרעגער גאַז (אַזאַ ווי אַרגאָן און ניטראָגען) אין אַ מקור קאַבינעט. נאָך מיקסינג, די גאַז לויפן איז קאַנטיניואַסלי ינדזשוזשד אין די דיפיוזשאַן אויוון און סעראַונדז די ווייפער, דיפּאַזאַץ אויף די ייבערפלאַך פון די ווייפערן.

עטשינגגאַז געמיש

עטשינג איז צו עטש אַוועק די פּראַסעסינג ייבערפלאַך (אַזאַ ווי מעטאַל פילם, סיליציום אַקסייד פילם, אאז"ו ו) אויף די סאַבסטרייט אָן פאָטאָרעסיסט מאַסקינג, אָבער פּראַזערווינג די געגנט מיט פאָטאָרעסיסט מאַסקינג מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט מוסטער אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך.

עטשינג מעטהאָדס אַרייַננעמען נאַס כעמישער עטשינג און טרוקן כעמישער עטשינג. די גאַז געניצט אין טרוקן כעמישער עטשינג איז גערופן גאַז.

עטשינג גאַז איז יוזשאַוואַלי פלאָרייד גאַז (האַליד), אַזאַ וויטשאַד טעטראַפלואָרידעניטראָגען טריפלואָרידע, טריפלואָראָמעטהאַנע, העקסאַפלואָראָעטהאַנע, פּערפקלאָפּראָפּאַנע, עטק.