טונגסטאַן העקסאַפלואָרידע (WF6) איז דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון די ווייפער דורך אַ CVD פּראָצעס, פילונג די מעטאַל ינטערקאַנעקשאַן טרענטשעס און פאָרמינג די מעטאַל ינטערקאַנעקשאַן צווישן לייַערס.
זאל ס רעדן וועגן פּלאַזמע ערשטער. פּלאַזמע איז אַ פאָרעם פון מאַטעריע וואָס איז מערסטנס קאַמפּאָוזד פון פריי עלעקטראָנס און באפוילן ייאַנז. עס עקסיסטירט וויידלי אין די אַלוועלט און איז אָפט גערעכנט ווי דער פערט שטאַט פון ענין. עס איז גערופן די פּלאַזמע שטאַט, אויך גערופן "פּלאַזמאַ". פּלאַזמע האט הויך עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי און האט אַ שטאַרק קאַפּלינג ווירקונג מיט ילעקטראָומאַגנעטיק פעלד. עס איז אַ טייל ייאַנייזד גאַז, וואָס איז קאַמפּאָוזד פון עלעקטראָנס, ייאַנז, פריי ראַדאַקאַלז, נייטראַל פּאַרטיקאַלז און פאָוטאַנז. די פּלאַזמע זיך איז אַן עלעקטריק נייטראַל געמיש מיט פיזיקלי און כעמיש אַקטיוו פּאַרטיקאַלז.
די גלייך דערקלערונג איז אַז אונטער דער קאַמף פון הויך ענערגיע, די מאַלאַקיול וועט באַקומען די וואן דער וואַאַלס קראַפט, כעמישער בונד קראַפט און קולאָמב קראַפט, און פאָרשטעלן אַ פאָרעם פון נייטראַל עלעקטרע ווי אַ גאַנץ. אין דער זעלביקער צייט, די הויך ענערגיע ימפּאַרטיד דורך די אַרויס וועט באַקומען די אויבן דריי פאָרסעס. פֿונקציע, עלעקטראָנס און ייאַנז פאָרשטעלן אַ פריי שטאַט, וואָס קענען זיין אַרטאַפישאַלי געוויינט אונטער די מאַדזשאַליישאַן פון אַ מאַגנעטיק פעלד, אַזאַ ווי סעמיקאַנדאַקטער עטשינג פּראָצעס, CVD פּראָצעס, PVD און IMP פּראָצעס.
וואָס איז הויך ענערגיע? אין טעאָריע, ביידע הויך טעמפּעראַטור און הויך אָפטקייַט רף קענען זיין געוויינט. אין אַלגעמיין, הויך טעמפּעראַטור איז כּמעט אוממעגלעך צו דערגרייכן. די טעמפּעראַטור פאָדערונג איז צו הויך און קען זיין נאָענט צו די זון ס טעמפּעראַטור. עס איז בייסיקלי אוממעגלעך צו דערגרייכן אין דעם פּראָצעס. דעריבער, די אינדוסטריע יוזשאַוואַלי ניצט הויך-אָפטקייַט רף צו דערגרייכן עס. פּלאַזמע רף קענען דערגרייכן ווי הויך ווי 13MHz +.
טונגסטאַן העקסאַפלאָרידע איז פּלאַזאַמייזד אונטער דער קאַמף פון אַן עלעקטריש פעלד, און דאַן פארע-דיפּאַזייזד דורך אַ מאַגנעטיק פעלד. וו אַטאָמס זענען ענלעך צו ווינטער גאַנדז פעדערז און פאַלן צו דער ערד אונטער דער קאַמף פון ערלעכקייט. סלאָולי, W אַטאָמס זענען דאַפּאַזיטיד אין די דורך האָלעס, און לעסאָף אָנגעפילט פול דורך האָלעס צו פאָרעם מעטאַל ינטערקאַנעקשאַנז. אין אַדישאַן צו דיפּאַזאַטאַד וואַ אַטאָמס אין די דורך האָלעס, וועט זיי אויך זיין דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון די וואַפער? יא, באשטימט. אין אַלגעמיין, איר קענען נוצן די W-CMP פּראָצעס, וואָס איז וואָס מיר רופן די מעטשאַניקאַל גרינדינג פּראָצעס צו באַזייַטיקן. עס איז ענלעך צו ניצן אַ בעזעם צו ויסקערן די שטאָק נאָך שווער שניי. דער שניי אויף דער ערד איז אַוועקגעשוועבט, אָבער דער שניי אין די לאָך אויף דער ערד וועט בלייַבן. אַראָפּ, בעערעך דער זעלביקער.
פּאָסטן צייט: דעצעמבער 24-2021
