די ראָלע פון ​​שוועבל העקסאַפלואָרידע אין סיליציום ניטרידע עטשינג

סולפור העקסאַפלואָרידע איז אַ גאַז מיט ויסגעצייכנט ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס און איז אָפט געניצט אין הויך וואָולטידזש קרייַזבויגן. עלעקטראָניק גראַד הויך-רייטערן העקסאַפלואָרידע איז אַן אידעאל עלעקטראָניש עטשט, וואָס איז וויידלי געניצט אין דעם פעלד פון מיקראָעלעקטראָניק טעכנאָלאָגיע. הייַנט, ניו רוילן ספּעציעל גאַז עדיטאָר יאָייוע וועט באַקענען די אַפּלאַקיישאַן פון שוועבל העקסאַפלואָרידע אין סיליציום ניטרידע עטשיץ און די השפּעה פון פאַרשידענע פּאַראַמעטערס.

מיר דיסקוטירן די SF6 פּלאַזמאַ עטשינג סינעקס פּראָצעס, אַרייַנגערעכנט טשאַנגינג די פּלאַזמע מאַכט, די גאַז פאַרהעלטעניש פון SF6 פּלאַזמע און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע, די קאַנסאַנטריישאַן ענדערונגען שיכטע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינץ, און ניצן פּלאַזמע ראַדיאַציע פון ​​די סינקס על השפּעה און די ספס 6 דיסאָוסייישאַן קורס, און יקספּלאָרז די שייכות צווישן די טוישן פון סינעקס עטשינג קורס און די פּלאַזמע מינים קאַנסאַנטריישאַן.

שטודיום האָבן געפֿונען אַז ווען די פּלאַזמע מאַכט איז געוואקסן, די עטשינג קורס ינקריסאַז; אויב די לויפן קורס פון SF6 אין די פּלאַזמע איז געוואקסן, די F אַטאָם קאַנסאַנטריישאַן ינקריסאַז און איז דורכויס קאָראַלייטאַד מיט די עטשינג טעמפּאָ. אין דערצו, נאָך אַדינג די קאַטיאָיק גאַז אָ 2 אונטער די פאַרפעסטיקט גאַנץ לויפן קורס, עס וועט האָבן די ווירקונג פון ינקריסינג די עטשינג קורס, אָבער אונטער פאַרשידענע אָ 2 / ספ 6 לויפן מעקאַניזאַמז, עס וועט זיין אַנדערש אָפּרוף, עס וועט זיין אַנדערש אָפּרוף, "SF6 לויפן מעקאַניזאַמז איז נישט צוגעגעבן. (2) ווען די O2 / SF6 לויפן פאַרהעלטעניש איז גרעסער ווי 0.2 צו די מעהאַלעך אַפּראָוטשינג 1, אין דעם צייט, רעכט צו דער גרויס סומע פון ​​דיסאָוסייישאַן פון ספ 6 צו פאָרעם F אַטאָמס, די עטשיץ קורס איז די העכסטן; אָבער אין דער זעלביקער צייט, די אָ אַטאָמס אין די פּלאַזמע זענען אויך ינקריסינג און עס איז גרינג צו פאָרעם סאָקסיש אָדער סאָמקסאָ (יקס) מיט די סינעקס פילם ייבערפלאַך, און די מער אָ אַטאָמס פאַרגרעסערן, די מער שווער, די אַטאָמס זענען מער שווער. דעריבער, די עטשינג קורס הייבט צו פּאַמעלעך אַראָפּ ווען די O2 / SF6 פאַרהעלטעניש איז נאָענט צו 1. (3) ווען די O2 / SF6 פאַרהעלטעניש איז גרעסער ווי 1, די עטשינג קורס דיקריסאַז. רעכט צו דער גרויס פאַרגרעסערן אין אָ 2, די דיסאָוסיייטאַד, אַטאָמס קאַלייד מיט אָ 2 און פאָרעם פון, וואָס ראַדוסאַז די קאַנסאַנטריישאַן פון F אַטאָמס, ריזאַלטינג אין די עטשינג טעמפּאָ. עס איז קענטיק פֿון דעם אַז ווען אָ 2 איז צוגעגעבן, די לויפן פאַרהעלטעניש פון O2 / SF6 איז צווישן 0.2 און 0.8, און דער בעסטער עטשינג קורס קענען זיין באקומען.