דער היימישער סובסטיטוציע פּלאַן פון עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז איז געוואָרן אַקסעלערירט אויף אַן אַלגעמיינעם וועג!

אין 2018, האט דער גלאבאלער עלעקטראנישער גאז מארקעט פאר אינטעגרירטע קרייזן דערגרייכט 4.512 ביליאן דאלאר, א יער-צו-יער פארגרעסערונג פון 16%. די הויכע וואוקס ראטע פון ​​דער עלעקטראנישער ספעציעלער גאז אינדוסטריע פאר האלב-קאנדוקטארן און די ריזיגע מארקעט גרייס האבן פארשנעלערט דעם אינלענדישן סובסטיטוציע פלאן פון עלעקטראנישער ספעציעלער גאז!

וואָס איז עלעקטראָן גאַז?

עלעקטראָניש גאַז באַציט זיך צו דער גרונט-קוואַלן מאַטעריאַל וואָס ווערט גענוצט אין דער פּראָדוקציע פֿון האַלב-קאָנדוקטאָרן, פלאַך-פּאַנעל דיספּלייז, ליכט-עמיטירנדיקע דיאָדן, זונ-צעלן און אַנדערע עלעקטראָנישע פּראָדוקטן, און ווערט ברייט גענוצט אין רייניקונג, עטשינג, פֿילם-פאָרמאַציע, דאָפּינג און אַנדערע פּראָצעסן. די הויפּט אַפּליקאַציע-געביטן פֿון עלעקטראָניש גאַז זענען די עלעקטראָניק-אינדוסטריע, זונ-צעלן, מאָבילע קאָמוניקאַציע, אויטאָ-נאַוויגאַציע און אויטאָ-אַודיאָ און ווידעאָ-סיסטעמען, לופֿט- און אַעראָספּייס, מיליטערישע אינדוסטריע און פֿילע אַנדערע פֿעלדער.

עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז קען ווערן צעטיילט אין זיבן קאַטעגאָריעס לויט זיין אייגענער כעמישער צוזאַמענשטעל: סיליקאָן, אַרסעניק, פאָספאָר, באָר, מעטאַל הידריד, האַליד און מעטאַל אַלקאָקסייד. לויט פֿאַרשידענע אַפּליקאַציע מעטאָדן אין אינטעגרירטע קרייזן, קען עס ווערן צעטיילט אין דאָפּינג גאַז, עפּיטאַקסי גאַז, יאָן ימפּלאַנטיישאַן גאַז, ליכט-עמיטינג דיאָד גאַז, עטשינג גאַז, כעמישער דאַמף דעפּאַזישאַן גאַז און באַלאַנס גאַז. עס זענען מער ווי 110 יוניט ספּעציעל גאַזן געניצט אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, פון וועלכע מער ווי 30 ווערן אָפט געניצט.

בכלל, די האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע אינדוסטריע צעטיילט גאַזן אין צוויי טיפּן: געוויינטלעכע גאַזן און ספּעציעלע גאַזן. צווישן זיי, דער געוויינטלעכער גאַז באַציט זיך צו אַ צענטראַליזירטער צושטעל און ניצט אַ סך גאַז, ווי N2, H2, O2, Ar, He, אאז"וו. ספּעציעלע גאַז באַציט זיך צו געוויסע כעמישע גאַזן געניצט אין דעם פּראָצעס פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע, ווי למשל עקסטענשאַן, יאָן אינדזשעקשאַן, בלענדינג, וואַשינג, און מאַסקע פאָרמאַציע, וואָס איז וואָס מיר רופן איצט עלעקטראָניש ספּעציעלע גאַז, ווי למשל הויך-ריינקייט SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, אאז"וו.

אין דעם גאנצן פּראָדוקציע פּראָצעס פון דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, פֿון טשיפּ וווּקס ביז דער לעצטער דעווייס פּאַקאַדזשינג, איז כּמעט יעדער פֿאַרבינדונג אומצוטיילנדיק פֿון עלעקטראָנישן ספּעציעלן גאַז, און די פֿאַרשיידנקייט פֿון גאַז געניצט און הויכע קוואַליטעט רעקווייערמענץ, אַזוי עלעקטראָניש גאַז האט האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן. "עסן".

אין די לעצטע יאָרן, כינע'ס הויפּט עלעקטראָנישע קאָמפּאָנענטן ווי האַלב-קאָנדוקטאָרן און דיספּליי פּאַנאַלז האָבן געוואקסן אין נייַ פּראָדוקציע קאַפּאַציטעט, און עס איז אַ שטאַרקע פאָדערונג פֿאַר אימפּאָרט סאַבסטיטוציע פון ​​עלעקטראָנישע כעמישע מאַטעריאַלן. די פּאָזיציע פון ​​עלעקטראָנישע גאַזן אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע איז געוואָרן אַלץ מער פּראָמינענט. די היגע עלעקטראָנישע גאַז אינדוסטריע וועט ברענגען אַ שנעלן וווּקס.

עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז האט זייער הויכע באדערפענישן פֿאַר ריינקייט, ווייַל אויב די ריינקייט איז נישט אויף די באדערפענישן, די אומריינקייט גרופּעס אַזאַ ווי וואַסער פארע און זויערשטאָף אין די עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז וועלן לייכט שאַפֿן אָקסייד פילם אויף דער ייבערפלאַך פון די האַלב-קאָנדוקטאָר, וואָס אַפעקטירט די לעבן פון עלעקטראָניש דעוויסעס, און די עלעקטראָניש ספּעציעל גאַז כּולל די פּאַרטיקאַלז פון אומריינקייט קענען פאַרשאַפן האַלב-קאָנדוקטאָר קורץ קרייזן און קרייז שעדיקן. מען קען זאָגן אַז די פֿאַרבעסערונג פון ריינקייט שפּילט אַ וויכטיקע ראָלע אין די פּראָדוקציע און פאָרשטעלונג פון עלעקטראָניש דעוויסעס.

מיט דער קאנטינעווערער אַנטוויקלונג פון דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, פאָרזעצט זיך דער טשיפּ פּראָדוקציע פּראָצעס צו פֿאַרבעסערן, און איצט האָט ער דערגרייכט 5 נאַנאָמעטער, וואָס איז כּמעט נאָענט צום גרענעץ פון מור'ס געזעץ, וואָס איז גלייך צו איין-צוואַנציקסטל פון דעם דיאַמעטער פון אַ מענטשלעכן האָר (ארום 0.1 מ"מ). דעריבער, שטעלט דאָס אויך העכערע פאָדערונגען אויף דער ריינקייט פון דעם עלעקטראָנישן ספּעציעלן גאַז וואָס ווערט פּראָדוצירט דורך האַלב-קאָנדוקטאָרן.