הידראָגען קלאָריידאיז אַ בלאַס גאַז מיט אַ שאַרף רייעך. זייַן ייקוויאַס לייזונג איז גערופן הידראָטשלאָריק זויער, אויך באקאנט ווי הידראָטשלאָריק זויער. הידראָגען קלאָרייד איז זייער סאַליאַבאַל אין וואַסער. אין 0 ° C, 1 באַנד פון וואַסער קענען צעלאָזן וועגן 500 וואַליומז פון הידראָגען קלאָרייד.
עס האט די פאלגענדע פּראָפּערטיעס און קעראַקטעריסטיקס:
1. הויך ריינקייַט
די ריינקייַט פון עלעקטראָניש מיינונגהידראָגען קלאָריידאיז זייער הויך, יוזשאַוואַלי ביי פּפּם אָדער נידעריקער מדרגה, צו ענשור אַז קיין ימפּיוראַטיז זענען באַקענענ אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס.
2. ינערטנאַס
עס איז אַ כעמיש ינערט גאַז וואָס טוט נישט רעאַגירן מיט פילע אנדערע סאַבסטאַנסיז, וואָס איז זייער וויכטיק צו פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און עקוויפּמענט.
3. הויך פעסטקייַט
עלעקטראָניש מיינונגהידראָגען קלאָריידאין אַלגעמיין, סטאַביל כעמיע צו ענשור רעליאַבלע סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג.
אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג, די הויפּט אַפּלאַקיישאַנז פון עלעקטראָניש גראַד הידראָגען קלאָרייד אַרייַננעמען:
1. ייבערפלאַך רייניקונג און צוגרייטונג
ווי אַ עפעקטיוו ייבערפלאַך קלינער, עלעקטראָניש מיינונגהידראָגען קלאָריידאיז געניצט צו באַזייַטיקן אַקסיידז און ימפּיוראַטיז פון די סאַבסטרייט ייבערפלאַך צו ענשור די קוואַליטעט און ריינקייַט פון די עפּיטאַקסיאַל שיכטע אָדער פילם.
2. אַפּיטאַקסיאַל וווּקס הילף
געוויינט ווי אַ ייבערפלאַך באַהאַנדלונג אַגענט אין די עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס, עס העלפּס צו פֿאַרבעסערן די עפעקטיוו קוואַליטעט פון די עפּיטאַקסיאַל שיכטע, ימפּרוווד ראַנינג, און רעדוצירן די פאָרמירונג פון לאַטאַס דעפעקץ.
3. סאַבסטרייט פּרעטרעאַטמענט
איידער די צוגרייטונג פון סעמיקאַנדאַקטער דיווייסאַז, עלעקטראָניש מיינונגהידראָגען קלאָריידצו נוצן די סאַבסטרייט ייבערפלאַך צו פאָרעם אַ סטאַביל באַזע צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן צווישן די עפּיטאַקסיאַל שיכטע און די סאַבסטרייט.
4. דעפּעזאָן אַגזיליערי אַגענט
אין דעם פּראָצעס פון כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (קווד) אָדער גשמיות פארע דעפּאַזישאַן (פּווד), עלעקטראָניש גראַד הידראָגען קלאָרייד קענען ווערן געניצט ווי אַ גאַז פאַסע אַריבערפירן פון די ויסזאָגונג פון סעמיקאַנדאַקטער.
5. גאַז-פאַסע אַריבערפירן אַגענט
ווי אַ גאַז-פאַסע אַריבערפירן אַגענט, אנדערע גאַזאַראַס פּרעקערז זענען באַקענענ אין דער אָפּרוף קאַמער צו העלפן סטרויערן די דעפּאַזישאַן קורס און יונאַפאָרמאַטי פון דעם מאַטעריאַל.
די קעראַקטעריסטיקס מאַכט עלעקטראָניש מיינונגהידראָגען קלאָריידאַ וויכטיק פּראַסעסינג אַגענט אין סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע, וואָס האט אַ שליסל פּראַל אויף די פאָרשטעלונג און רילייאַבילאַטי פון די לעצט מיטל.
אין אַדישאַן צו נוצן אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג, עלעקטראָניש מיינונג הידראָגען קלאָרייד קענען געפֿינען אַ פאַרשיידנקייַט פון ניצט אין אנדערע געביטן, אַרייַנגערעכנט: צוגרייטונג פון הויך ריינקייַט מאַטעריאַלס וווּקס, די בנין מאַטעריאַלס, מאַטעריאַלס, מאַטעריאַל אַנאַליסיס, כעמישער פאָרשונג.
אין אַלגעמיין, עלעקטראָניש מיינונגהידראָגען קלאָריידאיז אַ ווערסאַטאַל, הויך ריינקייַט גאַז וואָס האט אַ ברייט קייט פון פּראָגראַמען אַרויס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג.
פּאָסטן צייט: 18-2024