וואַסערשטאָף קלאָרידאיז אַ קאָלירלאָזער גאַז מיט אַ שטאַרקן שמעק. זײַן וואַסעריקער לייזונג ווערט גערופן הידראָכלאָריק זויער, אויך באַקאַנט ווי הידראָכלאָריק זויער. וואַסערשטאָף קלאָריד איז זייער צעלאָזלעך אין וואַסער. בײַ 0°C, קען 1 באַנד וואַסער צעלאָזן אַרום 500 באַנדן וואַסערשטאָף קלאָריד.

עס האט די פאלגענדע אייגנשאפטן און קעראַקטעריסטיקס:

1. הויך ריינקייט

די ריינקייט פון עלעקטראָניש גראַדוואַסערשטאָף קלאָרידאיז זייער הויך, געוויינטלעך ביי ppm אדער נידעריגער לעוועל, צו פארזיכערן אז קיין אומריינקייטן ווערן נישט אריינגעפירט אין דעם האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע פראצעס.

2. אינערטקייט

עס איז אַ כעמיש אינערט גאַז וואָס רעאַגירט נישט מיט פילע אַנדערע סאַבסטאַנצן, וואָס איז זייער וויכטיק צו פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן פון האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן און ויסריכט.

3. הויך פעסטקייט

עלעקטראָנישע גראַדוואַסערשטאָף קלאָרידבכלל האט סטאַבילע כעמיע צו ענשור פאַרלאָזלעך האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג.

אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג, די הויפּט אַפּליקאַציעס פון עלעקטראָניש גראַד וואַסערשטאָף קלאָריד אַרייַננעמען:

1. ייבערפלאַך רייניקונג און צוגרייטונג

אלס אן עפעקטיווער אויבערפלאך רייניגער, עלעקטראנישער גראדוואַסערשטאָף קלאָרידווערט גענוצט צו באַזײַטיקן אָקסיידן און אומריינקייטן פֿון דער סאַבסטראַט־איבערפֿלאַך צו גאַראַנטירן די קוואַליטעט און ריינקייט פֿון דער עפּיטאַקסיאַלער שיכט אָדער פֿילם.

2. עפּיטאַקסיאַל וווּקס הילף

גענוצט ווי אַ ייבערפלאַך באַהאַנדלונג אַגענט אין דעם עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס, עס העלפּס צו פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון די עפּיטאַקסיאַל שיכטע, פֿאַרבעסערן גיטער מאַטשינג, און רעדוצירן די פאָרמירונג פון גיטער חסרונות.

3. סאַבסטראַט פאָרבאַהאַנדלונג

איידער די צוגרייטונג פון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס, עלעקטראָניש גראַדוואַסערשטאָף קלאָרידקען גענוצט ווערן צו באַהאַנדלען די סאַבסטראַט ייבערפלאַך צו פֿאָרמירן אַ סטאַביל באַזע צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן צווישן די עפּיטאַקסיאַל שיכט און די סאַבסטראַט.

4. הילפס־אגענט פאר דעפאזיציע

אין דעם פּראָצעס פון כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (CVD) אָדער גשמיות פארע דעפּאַזישאַן (PVD), קען עלעקטראָנישע גראַד הידראָגען קלאָריד ווערן גענוצט ווי אַ גאַז פאַזע אַריבערפירן מעדיום צו אָנטייל נעמען אין דער דעפּאַזישאַן רעאַקציע פון ​​האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן.

5. גאַז-פאַזע אַריבערפירן אַגענט

אלס א גאז-פאזע טראנספער אגענט, ווערן אנדערע גאז-פארגייער אריינגעפירט אין דער רעאקציע קאמער צו העלפן סטרויערן די דעפאזיציע ראטע און איינהייטלעכקייט פון דעם מאטעריאל.

די קעראַקטעריסטיקס מאַכן עלעקטראָניש גראַדוואַסערשטאָף קלאָרידאַ וויכטיקער פּראַסעסינג אַגענט אין האַלב-קאָנדוקטאָר טעכנאָלאָגיע, וואָס האט אַ שליסל השפּעה אויף די פאָרשטעלונג און פאַרלאָזלעכקייט פון די לעצט מיטל.

אין צוגאב צו זיין באניץ אין האלב-קאנדוקטאר פראצעסירונג, קען עלעקטראנישע גראד וואסערשטאף קלאריד געפינען א פארשיידנקייט פון באניץ אין אנדערע געביטן, אריינגערעכנט: צוגרייטונג פון הויך ריינקייט מאטעריאלן, ברענשטאָף צעלן, האלב-קאנדוקטאר מאטעריאל וואוקס, פארע פאזע ליטאגראפיע, מאטעריאל אנאליז, כעמישע פארשונג.

אין אַלגעמיין, עלעקטראָניש גראַדוואַסערשטאָף קלאָרידאיז אַ ווערסאַטאַל, הויך ריינקייט גאַז וואָס האט אַ ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז אַרויס פון האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג.