לאַזער גאַז איז דער הויפּט געניצט פֿאַר לאַזער אַנילינג און ליטהאָגראַפי גאַז אין די עלעקטראָניק אינדוסטריע. נוץ פון די כידעש פון רירעוודיק טעלעפאָן סקרינז און די יקספּאַנשאַן פון אַפּלאַקיישאַן געביטן, די וואָג פון די נידעריק-טעמפּעראַטור פּאָליסיליקאָן מאַרק וועט זיין יקספּאַנדיד ווייַטער, און די לאַזער אַנילינג פּראָצעס האט באטייטיק ימפּרוווד די פאָרשטעלונג פון TFTs. צווישן די נעאָן, פלאָרין, און אַרגאָן גאַסאַז געניצט אין די אַרף עקססימער לאַזער פֿאַר מאַנופאַקטורינג סעמיקאַנדאַקטערז, נעאָן אַקאַונץ פֿאַר מער ווי 96% פון די לאַזער גאַז געמיש. מיט די ראַפינירטקייַט פון סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע, די נוצן פון עקססימער לייזערז איז געוואקסן, און די הקדמה פון טאָפּל ויסשטעלן טעכנאָלאָגיע האט געפֿירט צו אַ שאַרף פאַרגרעסערן אין די פאָדערונג פֿאַר נעאָן גאַז קאַנסומד דורך ArF עקססימער לייזערז. נוץ פון די העכערונג פון די לאָוקאַלאַזיישאַן פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז, דינער מאַניאַפאַקטשערערז וועט האָבן אַ בעסער מאַרק וווּקס פּלאַץ אין דער צוקונפֿט.
ליטהאָגראַפי מאַשין איז די האַרץ ויסריכט פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. ליטהאָגראַפי דיפיינז די גרייס פון טראַנזיסטערז. די קאָואָרדאַנייטיד אַנטוויקלונג פון די ליטהאָגראַפי אינדוסטריע קייט איז דער שליסל צו די ברייקטרו פון ליטהאָגראַפי מאַשין. די וואָס ריכטן סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי פאָטאָרעסיסט, פאָטאָליטאָגראַפי גאַז, פאָטאָמאַסק און קאָוטינג און דעוועלאָפּינג ויסריכט האָבן הויך טעקנאַלאַדזשיקאַל אינהאַלט. ליטהאָגראַפי גאַז איז די גאַז וואָס די ליטהאָגראַפי מאַשין דזשענערייץ טיף אַלטראַווייאַליט לאַזער. פאַרשידענע ליטהאָגראַפי גאַסאַז קענען פּראָדוצירן ליכט קוואלן פון פאַרשידענע ווייוולענגטס, און זייער ווייוולענגט אַפעקץ גלייַך די האַכלאָטע פון די ליטהאָגראַפי מאַשין, וואָס איז איינער פון די קאָרעס פון די ליטהאָגראַפי מאַשין. אין 2020, די גאַנץ גלאבאלע פארקויפונג פון ליטהאָגראַפי מאשינען וועט זיין 413 וניץ, פון וואָס ASML פארקויפונג 258 וניץ אַקאַונאַד פֿאַר 62%, קאַנאָן פארקויפונג 122 וניץ אַקאַונאַד פֿאַר 30%, און נייקאַן פארקויפונג 33 וניץ אַקאַונאַד פֿאַר 8%.
פּאָסטן צייט: 15 אקטאבער 2021