לאַזער גאַז

לאַזער גאַז ווערט הויפּטזעכלעך גענוצט פֿאַר לאַזער אַנילינג און ליטאָגראַפֿיע גאַז אין דער עלעקטראָניק אינדוסטריע. נוץ פֿון דער כידעש פֿון מאָביל טעלעפֿאָן סקרינס און דער אויסברייטערונג פֿון אַפּליקאַציע געביטן, וועט דער מאָסשטאַב פֿון דעם נידעריק-טעמפּעראַטור פּאָליסיליקאָן מאַרק ווייטער אויסגעברייטערט ווערן, און דער לאַזער אַנילינג פּראָצעס האָט באַדייטנד פֿאַרבעסערט די פאָרשטעלונג פֿון TFTs. צווישן די נעאָן, פֿלאָר און אַרגאָן גאַזן גענוצט אין דעם ArF עקססימער לאַזער פֿאַר פּראָדוקציע האַלב-קאָנדוקטאָרן, מאַכט נעאָן אויס מער ווי 96% פֿון דער לאַזער גאַז געמיש. מיט דער פֿאַרפֿײַנערונג פֿון האַלב-קאָנדוקטאָר טעכנאָלאָגיע, איז די נוצ פֿון עקססימער לאַזערס געוואַקסן, און די אײַנפֿירונג פֿון טאָפּל עקספּאָוזשער טעכנאָלאָגיע האָט געפֿירט צו אַ שאַרפֿער פֿאַרגרעסערונג אין דער נאָכפֿראַגע פֿאַר נעאָן גאַז פֿאַרברויכט דורך ArF עקססימער לאַזערס. נוץ פֿון דער העכערונג פֿון דער לאָקאַליזאַציע פֿון עלעקטראָנישע ספּעציאַליטעט גאַזן, וועלן דינער מאַנופֿאַקטורערס האָבן אַ בעסערן מאַרק וווּקס פּלאַץ אין דער צוקונפֿט.

ליטאגראַפֿיע מאַשין איז די קערן עקוויפּמענט פֿון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע. ליטאגראַפֿיע דעפֿינירט די גרייס פֿון טראַנזיסטאָרן. די קאָאָרדינירטע אַנטוויקלונג פֿון דער ליטאגראַפֿיע אינדוסטריע קייט איז דער שליסל צום דורכברוך פֿון ליטאגראַפֿיע מאַשין. די פּאַסיקע האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן ווי פֿאָטאָרעזיסט, פֿאָטאָליטאָגראַפֿיע גאַז, פֿאָטאָמאַסק, און קאָוטינג און דעוועלאָפּינג עקוויפּמענט האָבן הויך טעקנאַלאַדזשישע אינהאַלט. ליטאגראַפֿיע גאַז איז דער גאַז וואָס די ליטאגראַפֿיע מאַשין דזשענערירט טיפֿן אַלטראַווייאַליט לאַזער. פֿאַרשידענע ליטאגראַפֿיע גאַזן קענען פּראָדוצירן ליכט קוואלן פֿון פֿאַרשידענע כוואַליע לענג, און זייער כוואַליע לענג ווירקט גלייך אויף די רעזאָלוציע פֿון דער ליטאגראַפֿיע מאַשין, וואָס איז איינער פֿון די קערנס פֿון דער ליטאגראַפֿיע מאַשין. אין 2020, וועט די גאַנצע גלאָבאַלע פֿאַרקויף פֿון ליטאגראַפֿיע מאַשינען זיין 413 איינהייטן, פֿון וועלכע ASML פֿאַרקויף 258 איינהייטן האָבן אויסגעמאַכט 62%, קאַנאָן פֿאַרקויף 122 איינהייטן האָבן אויסגעמאַכט 30%, און ניקאָן פֿאַרקויף 33 איינהייטן האָבן אויסגעמאַכט 8%.