באָר טריכלאָריד (BCl3)איז אַן אומאָרגאַנישע קאַמפּאַונד וואָס ווערט אָפט געניצט אין טרוקן עטשינג און כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (CVD) פּראָצעסן אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע. עס איז אַ קאָלירלאָז גאַז מיט אַ שטאַרקן שאַרפן שמעקן ביי צימער טעמפּעראַטור און איז סענסיטיוו צו פייַכט לופט ווייַל עס כיידראָליזירט צו פּראָדוצירן הידראָטשלאָריק זויער און באָר זויער.

אַפּליקאַציעס פון באָראָן טריטשלאָריד

אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע,באָראָן טריכלאָרידווערט בעיקר גענוצט פאר טרוקענע עטשינג פון אלומיניום און אלס א דאפאנט צו פארמירן פּ-טיפ געגנטן אויף סיליקאן וועיפערס. עס קען אויך גענוצט ווערן צו עטשינג מאטעריאלן ווי GaAs, Si, AlN, און אלס א באר מקור אין געוויסע ספעציפישע אנווענדונגען. דערצו, באר טריכלאריד ווערט ברייט גענוצט אין מעטאל פראצעסירונג, גלאז אינדוסטריע, כעמישע אנאליז און לאבאראטאריע פארשונג.

זיכערקייט פון באָראָן טריטשלאָריד

באָראָן טריכלאָרידאיז קאָראָזיוו און טאָקסיש און קען פאַראורזאַכן ערנסטע שאָדן צו די אויגן און הויט. עס כיידראָליזירט אין פייכטער לופט צו באַפרייען טאָקסישן וואַסערשטאָף קלאָריד גאַז. דעריבער, דאַרף מען נעמען פּאַסיקע זיכערהייט מיטלען ווען מען האַנדלט עס.באָראָן טריכלאָריד, אַרייַנגערעכנט טראָגן פּראַטעקטיוו קליידער, ברילן און רעספּעראַטאָרישע שוץ עקוויפּמענט, און אַרבעטן אין אַ גוט-ווענטילאַטעד סביבה.