הינטער-הויך ריינקייַט (UHP) גאַסאַז זענען די לעבן-בלוט פון די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. ווי אַנפּרעסידענטיד פאָדערונג און דיסראַפּשאַנז צו גלאבאלע צושטעלן קייטן העכערן די פּרייַז פון הינטער-הויך דרוק גאַז, נייַ סעמיקאַנדאַקטער פּלאַן און מאַנופאַקטורינג פּראַקטיסיז פאַרגרעסערן די נויטיק מדרגה פון פאַרפּעסטיקונג קאָנטראָל. פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַניאַפאַקטשערערז, קענען צו ענשור די ריינקייַט פון UHP גאַז איז מער וויכטיק ווי אלץ.

הינטער הויך ריינקייַט (UHP) גאַסאַז זענען לעגאַמרע קריטיש אין מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג

איינער פון די הויפּט אַפּלאַקיישאַנז פון UHP גאַז איז ינערטיזיישאַן: UHP גאַז איז געניצט צו צושטעלן אַ פּראַטעקטיוו אַטמאָספער אַרום סעמיקאַנדאַקטער קאַמפּאָונאַנץ, דערמיט באַשיצן זיי פון די שעדלעך יפעקץ פון נעץ, זויערשטאָף און אנדערע קאַנטאַמאַנאַנץ אין דער אַטמאָספער. אָבער, ינערטיזאַטיאָן איז בלויז איינער פון פילע פאַרשידענע פאַנגקשאַנז אַז גאַסאַז דורכפירן אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. פון ערשטיק פּלאַזמע גאַסאַז צו ריאַקטיוו גאַסאַז געניצט אין עטשינג און אַנילינג, הינטער-הויך דרוק גאַסאַז זענען געניצט פֿאַר פילע פאַרשידענע צוועקן און זענען יקערדיק איבער די סעמיקאַנדאַקטער צושטעלן קייט.

עטלעכע פון ​​די "האַרץ" גאַסאַז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע אַרייַננעמעןניטראָגען(געניצט ווי אַ גענעראַל רייניקונג און ינערט גאַז),אַרגאָן(גענוצט ווי די ערשטיק פּלאַזמע גאַז אין עטשינג און דעפּאַזישאַן ריאַקשאַנז),העליום(גענוצט ווי אַ ינערט גאַז מיט ספּעציעל היץ אַריבערפירן פּראָפּערטיעס) אוןהידראָגען(פיעסעס קייפל ראָלעס אין אַנילינג, דעפּאַזישאַן, עפּיטאַקסי און פּלאַזמע רייניקונג).

ווי סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע האט יוואַלווד און געביטן, אַזוי האָבן די גאַסאַז געניצט אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. הייַנט, האַלב-קאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פאַבריק נוצן אַ ברייט קייט פון גאַסאַז, פֿון איידעלע גאַסאַז אַזאַ וויקריפּטאָןאוןנעאָןצו ריאַקטיוו מינים אַזאַ ווי ניטראָגען טריפלאָרידע (נף 3) און טאַנגסטאַן העקסאַפלאָרידע (ווף 6).

גראָוינג פאָדערונג פֿאַר ריינקייַט

זינט דער דערפינדונג פון דער ערשטער געשעפט מיקראָטשיפּ, די וועלט האט וויטנאַסט אַן אַסטאַנישינג כּמעט עקספּאָונענשאַל פאַרגרעסערן אין די פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס. אין די לעצטע פינף יאָר, איינער פון די זיכער וועגן צו דערגרייכן דעם טיפּ פון פאָרשטעלונג פֿאַרבעסערונג איז געווען דורך "גרייס סקיילינג": רידוסינג שליסל דימענשאַנז פון יגזיסטינג שפּאָן אַרקאַטעקטשערז אין סדר צו קוועטשן מער טראַנזיסטערז אין אַ געגעבן פּלאַץ. אין אַדישאַן צו דעם, די אַנטוויקלונג פון נייַ שפּאָן אַרקאַטעקטשערז און די נוצן פון קאַטינג-ברעג מאַטעריאַלס האָבן געשאפן ליפּס אין מיטל פאָרשטעלונג.

הייַנט, די קריטיש דימענשאַנז פון קאַטינג-ברעג סעמיקאַנדאַקטערז זענען איצט אַזוי קליין אַז גרייס סקיילינג איז ניט מער אַ ווייאַבאַל וועג צו פֿאַרבעסערן מיטל פאָרשטעלונג. אַנשטאָט, סעמיקאַנדאַקטער ריסערטשערז זענען קוקן פֿאַר סאַלושאַנז אין די פאָרעם פון ראָמאַן מאַטעריאַלס און 3 ד שפּאָן אַרקאַטעקטשערז.

דעקאַדעס פון טייערלאַס רידיזיין מיינען אַז הייַנט ס סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס זענען פיל מער שטאַרק ווי די אַלט מיקראָטשיפּס - אָבער זיי זענען אויך מער שוואַך. די אַדווענט פון 300 מם ווייפער פאַבריקיישאַן טעכנאָלאָגיע האט געוואקסן די מדרגה פון טומע קאָנטראָל פארלאנגט פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. אפילו די מינדסטע קאַנטאַמאַניישאַן אין אַ מאַנופאַקטורינג פּראָצעס (ספּעציעל זעלטן אָדער ינערט גאַסאַז) קענען פירן צו קאַטאַסטראָפיק עקוויפּמענט דורכפאַל - אַזוי גאַז ריינקייַט איז איצט מער וויכטיק ווי אלץ.

פֿאַר אַ טיפּיש סעמיקאַנדאַקטער פאַבריק, הינטער-הויך-ריין גאַז איז שוין די גרעסטע מאַטעריאַל קאָסט נאָך סיליציום זיך. די קאָס זענען בלויז דערוואַרט צו פאַרגרעסערן ווי די פאָדערונג פֿאַר סעמיקאַנדאַקטערז סאָוז צו נייַע כייץ. געשעענישן אין אייראָפּע האָבן געפֿירט נאָך דיסראַפּשאַן צו די געשפּאַנט הינטער-הויך דרוק נאַטירלעך גאַז מאַרק. אוקריינא איז איינער פון די וועלט 'ס גרעסטער יקספּאָרטערז פון הויך ריינקייַטנעאָןוואונדער; רוסלאנד'ס אינוואזיע מיינט אז די פארזארגונג פון די זעלטענע גאז ווערט באגרענעצט. דאס אין קער געפֿירט צו דוחק און העכער פּרייז פון אנדערע איידעלע גאַז אַזאַ וויקריפּטאָןאוןקסענאָן.