אולטרא-הויך ריינקייט (UHP) גאזן זענען די לעבנסבלוט פון דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע. ווי אומגעזעענע פאָדערונג און שטערונגען צו גלאבאלע צושטעל קייטן שטופּן אַרויף די פּרייַז פון אולטרא-הויך דרוק גאַז, נייַע האַלב-קאָנדוקטאָר פּלאַן און מאַנופאַקטורינג פּראַקטיקעס פאַרגרעסערן די מדרגה פון פאַרפּעסטיקונג קאָנטראָל וואָס איז דארף. פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורערס, די מעגלעכקייט צו ענשור די ריינקייט פון UHP גאַז איז מער וויכטיק ווי אלץ.

אולטרא הויך ריינקייט (UHP) גאַזן זענען אַבסאָלוט קריטיש אין מאָדערן האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג

איינע פון ​​די הויפּט אַפּליקאַציעס פון UHP גאַז איז אינערטיזאַציע: UHP גאַז ווערט גענוצט צו צושטעלן אַ פּראַטעקטיוו אַטמאָספער אַרום האַלב-קאָנדוקטאָר קאָמפּאָנענטן, דערמיט באַשיצן זיי פון די שעדלעך ווירקונגען פון נעץ, זויערשטאָף און אַנדערע קאַנטאַמאַנאַנץ אין דער אַטמאָספער. אָבער, אינערטיזאַציע איז נאָר איינע פון ​​פילע פאַרשידענע פונקציעס וואָס גאַזן דורכפירן אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע. פון ערשטיקע פּלאַזמע גאַזן ביז רעאַקטיווע גאַזן גענוצט אין עטשינג און אַנילינג, ווערן אולטראַ-הויך דרוק גאַזן גענוצט פֿאַר פילע פאַרשידענע צוועקן און זענען וויכטיק איבער דער גאַנצער האַלב-קאָנדוקטאָר צושטעל קייט.

עטלעכע פון ​​די "האַרץ" גאַזן אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע אַרייַננעמעןשטיקשטאָף(געניצט ווי אַן אַלגעמיינע רייניקונג און ינערט גאַז),אַרגאָן(געניצט ווי דער ערשטיקער פּלאַזמע גאַז אין עטשינג און דעפּאָזיציע רעאַקציעס),העליום(געניצט ווי אַן אינערט גאַז מיט ספּעציעלע היץ-איבערפיר אייגנשאַפטן) אוןוואַסערשטאָף(שפּילט קייפל ראָלעס אין אַנילינג, דעפּאָזיציע, עפּיטאַקסי און פּלאַזמע רייניקונג).

ווי האַלב-קאָנדוקטאָר טעכנאָלאָגיע האָט זיך אַנטוויקלט און געביטן, אַזוי האָבן זיך אויך געביטן די גאַזן וואָס ווערן גענוצט אין דעם פאַבריקאַציע פּראָצעס. היינט נוצן האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקן אַ ברייטע קייט פון גאַזן, פון איידעלע גאַזן ווי...קריפּטאָןאוןנעאָןצו רעאַקטיווע מינים ווי נייטראָגען טריפלאָריד (NF3) און וואָלפראַם העקסאַפלאָריד (WF6).

וואַקסנדיקע פאָדערונג פֿאַר ריינקייט

זינט דער ערפינדונג פון דעם ערשטן קאמערציעלן מיקראָטשיפּ, האט די וועלט געזען אן ערשטוינענדיקן כמעט-עקספּאָנענציעלן פאַרגרעסערונג אין דער פאָרשטעלונג פון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס. איבער די לעצטע פינף יאָר, איינער פון די זיכערסטע וועגן צו דערגרייכן דעם סאָרט פאָרשטעלונג פֿאַרבעסערונג איז געווען דורך "גרייס סקיילינג": רעדוצירן שליסל דימענסיעס פון עקזיסטירנדיקע טשיפּ אַרכיטעקטורן כּדי צו קוועטשן מער טראַנזיסטאָרן אין אַ געגעבענעם פּלאַץ. אין דערצו צו דעם, די אַנטוויקלונג פון נייַע טשיפּ אַרכיטעקטורן און די נוצן פון שניידנדיקע מאַטעריאַלן האָבן געבראַכט שפּרינגען אין דעוויסעס פאָרשטעלונג.

היינט, די קריטישע דימענסיעס פון שניידנדיקע האַלב-קאָנדוקטאָרן זענען אַזוי קליין אַז גרייס-סקיילינג איז מער נישט קיין מעגלעכער וועג צו פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון דעוויסעס. אַנשטאָט, זוכן האַלב-קאָנדוקטאָר פאָרשער לייזונגען אין דער פאָרעם פון נייַע מאַטעריאַלן און 3D טשיפּ אַרכיטעקטורן.

יאָרצענדליקער פון אומערמידלעכער איבערמאַכונג מיינען אַז היינטיקע האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס זענען פיל שטאַרקער ווי די מיקראָטשיפּס פון אַמאָל — אָבער זיי זענען אויך מער שוואַך. די אויפקומען פון 300 מ"מ וועיפער פאַבריקאַציע טעכנאָלאָגיע האט געוואקסן דעם מדרגה פון פאַרפּעסטיקונג קאָנטראָל וואָס איז פארלאנגט פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע. אפילו די קלענסטע קאַנטאַמאַניישאַן אין אַ פאַבריקאַציע פּראָצעס (ספּעציעל זעלטענע אָדער ינערט גאַזן) קען פירן צו קאַטאַסטראָפֿישע ויסריכט דורכפאַל — אַזוי גאַז ריינקייט איז איצט וויכטיקער ווי אלץ פריער.

פֿאַר אַ טיפּישער האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פאַבריק, איז גאָר הויך-ריינקייט גאַז שוין די גרעסטע מאַטעריאַל אויסגאַבע נאָך סיליקאָן אַליין. די קאָסטן ווערן נאָר ערוואַרטעט צו וואַקסן ווי די פאָדערונג פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָרן וואַקסט צו נייע כייץ. געשעענישן אין אייראָפּע האָבן געפֿירט צו נאָך מער שטערונג אין דעם געשפּאַנטן גאָר הויך-דרוק נאַטירלעכן גאַז מאַרק. אוקראַיִנע איז איינער פֿון די וועלטס גרעסטע עקספּאָרטירער פֿון גאָר ריינקייט.נעאָןצייכנס; רוסלאַנד'ס אינוואַזיע מיינט אַז די צושטעל פון דעם זעלטענעם גאַז ווערט באַגרענעצט. דאָס האָט אין דער ריי געפֿירט צו מאַנגל און העכערע פּרייזן פון אַנדערע איידעלע גאַזן וויקריפּטאָןאוןקסענאָן.