הינטער-הויך ריינקייַט (UHP) גאַסאַז זענען די ליפלאָוד פון די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. ווי אַנפּרעסידענטיד פאָדערונג און דיסראַפּשאַנז צו גלאבאלע צושטעלן טשיינז שטופּן אַרויף די פּרייַז פון הינטער-הויך דרוק גאַז, נייַ סעמיקאַנדאַקטער פּלאַן און מאַנופאַקטורינג פּראַקטיסיז ינקריסיז ינקריסאַז נידז. פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער, קענען צו ענשור אַז די ריינקייַט פון UHP גאַז איז מער וויכטיק ווי אלץ.

הינטער הויך ריינקייַט (UHP) גאַסאַז זענען לעגאַמרע קריטיש אין מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג

איינער פון די הויפּט אַפּלאַקיישאַנז פון UHP גאַז איז ינערשאַליישאַן: UHP גאַז איז געניצט צו צושטעלן אַ פּראַטעקטיוו אַטמאָספער אַרום סעמיקאַנדוכנעטיק קאַמפּאָונאַנץ, דערמיט פּראַטעקטינג זיי פון נעץ, זויערשטאָף און אנדערע קאַנטאַמאַנאַנץ אין דער אַטמאָספער. ינערטיזאַטיאָן איז נאָר איינער פון פילע פאַרשידענע פאַנגקשאַנז וואָס גאַסאַז דורכפירן אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. פון ערשטיק פּלאַזמע גאַסאַז צו ריאַקטיוו גאַסאַז געניצט אין עטשינג און אַנילינג, הינטער-הויך דרוק גאַסאַז זענען געניצט פֿאַר פילע פאַרשידענע צוועקן און זענען יקערדיק איבער די סעמיקאַנדאַקטער צושטעלן קייט.

עטלעכע פון ​​די "האַרץ" גאַסאַז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע אַרייַננעמעןניטראָגען(געוויינט ווי אַ גענעראַל רייניקונג און ינערט גאַז),אַרגאַן(געוויינט ווי די ערשטיק פּלאַזמע גאַז אין עטשינג און דעפּאַזישאַן ריאַקשאַנז),העליום(געוויינט ווי אַ ינערט גאַז מיט ספּעציעל היץ-אַריבערפירן פּראָפּערטיעס) אוןהידראָגען(פיעסעס קייפל ראָלעס אין אַנילינג, דעפּאַזישאַן, עפּיטאַקסי און פּלאַזמע רייניקונג).

ווי סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע האט יוואַלווד און פארענדערט, אַזוי די גאַסאַז געניצט אין דער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. הייַנט, סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג געוויקסן נוצן אַ ברייט קייט פון גאַסאַז, פון איידעלע גאַסאַז אַזאַ וויקריפּטאָןאוןנעאָןצו ריאַקטיוו מינים אַזאַ ווי ניטראָגען טריפלואָרידע (נף 3) און טאַנגסטען העקסאַפלואָרידע (ווף 6).

גראָוינג פאָדערונג פֿאַר ריינקייַט

זינט דער דערפינדונג פון דער ערשטער געשעפט מיקראָטשיפּ, די וועלט האט וויטנאַסט אַ אַמייזינג לעבן-עקספּאָונענשאַל פאַרגרעסערן אין די פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער דיווייסאַז. אין די לעצטע פינף יאָר, איינער פון די שוריסט וועגן צו דערגרייכן דעם סאָרט פון פאָרשטעלונג פֿאַרבעסערונג איז דורכגעקאָכט ": רידוסינג שליסל דימענשאַנז פון יגזיסטינג שפּאָן אַרקאַטעקטשערז צו קוועטשן מער טראַנזיסטאָרס אין אַ געגעבן פּלאַץ. אין אַדישאַן צו דעם, די אַנטוויקלונג פון נייַ שפּאָן אַרקאַטעקטשערז און די נוצן פון קאַטינג, מאַטעריאַלס האָבן געשאפן שפּרינגען אין דין פאָרשטעלונג.

הייַנט, די קריטיש דימענשאַנז פון די סעמיקאַנדאַקטער אין די גרייס איז אַזוי קליין אַז די גרייס פון די גרייס איז ניט מער אַ ווייאַבאַל וועג צו פֿאַרבעסערן מיטל צו פֿאַרבעסערן מיטל אָפּעראַציע. אַנשטאָט, סעמיקאַנדאַקטעריזיע ריסערטשערז זענען קוקן פֿאַר סאַלושאַנז אין די פאָרעם פון ראָמאַן מאַטעריאַלס און 3 ד טשיפּאַטעקטשערערז.

דעקאַדעס פון טייערלאַס רידיזיין מיינען הייַנט ס סעמיקאַנדאַקטער דיווייסאַז זענען פיל מער שטאַרק ווי די מיקראָטשיפּס פון אַלט - אָבער זיי זענען אויך מער שוואַך. די אַדווענט פון די אַדוואָקאַט טעכנאָלאָגיע פון ​​300 מם מאַניאַפאַקטשערערז געוואקסן די הייך פון טומע קאָנטראָל פארלאנגט פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. אפילו די מינדסטע קאַנטאַמאַניישאַן אין אַ מאַנופאַקטורינג פּראָצעס (ספּעציעל זעלטן אָדער ינערט גאַסאַז) קענען פירן צו קאַטאַסטראַפיק ויסריכט דורכפאַל - אַזוי גאַז ריינקייַט איז איצט מער וויכטיק ווי אלץ.

פֿאַר אַ טיפּיש סעמיקאַנדאַקטער פאָרמאַליישאַן פאַבריק, הינטער-ריינקייַט איז שוין די גרעסטע מאַטעריאַלס קאָסט נאָך סיליציום זיך. די קאָס זענען בלויז געריכט צו פאַרגרעסערן ווי פאָדערונג פֿאַר סעמיקאַנדאַקטערויז סאָולז צו נייַ כייץ. געשעענישן אין אייראָפּע האָבן געפֿירט נאָך דיסראַפּשאַן צו די געשפּאַנט הינטער-הויך דרוק נאַטירלעך גאַז מאַרק. אוקריינא איז איינער פון די וועלט 'ס גרעסטער יקספּאָרטערז פון הויך ריינקייַטנעאָןוואונדער; די ינוואַזיע פון ​​רוסלאַנד מיטל סאַפּלייז פון די זעלטן גאַז זענען קאַנסטריינד. דעם אין קער געפירט צו שאָרטידזשיז און העכער פּריסעס פון אנדערע איידעלע גאַסאַז אַזאַ וויקריפּטאָןאוןקסענאָן.